学习等离子体沉积的相关资料

等离子体沉积是一种利用等离子体技术在材料表面生成薄膜或改变表面性质的方法。以下是一些相关资料：

1.书籍：《等离子体沉积技术》(作者：刘晓峰)

2.期刊论文：
- Plasma-enhanced atomic layer deposition: Fundamentals, opportunities, and challenges
- Plasma-enhanced chemical vapor deposition of thin films
- Plasma-enhanced magnetron sputtering: A review of recent advances and future trends

3.网站：
- 等离子体沉积技术的介绍和应用：https://www.azom.com/article.aspx?ArticleID=14631
- 等离子体沉积技术在太阳能电池中的应用：https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1364032116311226

希望这些资料能够对你有所帮助！