MEMS传感器的功能点

MEMS传感器是一种微型传感器，具有以下功能点：

1. 检测功能：可以检测物理量（如加速度、角速度、压力、温度等）并将其转换为电信号输出。

2. 小型化：由于其微型化的特点，可以在小型设备中使用，如智能手机、耳机、手表等。

3. 低功耗：由于其小型化和低功率电路设计，可以在需要长时间使用的设备中使用，如可穿戴设备等。

4. 精度高：由于其微小的物理结构，可以实现高精度的测量，如微小加速度、微小压力等。

5. 可靠性高：由于其微小的物理结构，可以减少机械部件的数量，从而提高其可靠性和耐用性。

6. 价格低廉：由于其基于微电子制造工艺，可以实现大规模制造，从而降低成本，使其更加普及。