iso14644-3:2019(e)

ISO 14644-3:2019（e）是国际标准化组织发布的一项关于洁净室的标准，也被称为洁净室和相关控制环境的粒子计数标准。该标准旨在为洁净室用户、设计者、供应商和操作者提供为实现特定清洁要求的方法和指导。

ISO 14644-3:2019（e）主要关注洁净室中的粒子计数方法和设备。它规定了进行粒子计数的方法，以及测量仪器的最低性能要求。该标准适用于颗粒范围从0.1微米到5微米的空气中的粒子计数。它还提供了对理想洁净室状态和运行条件的指导，以确保洁净室的质量控制符合要求。

此外，ISO 14644-3:2019（e）对于在采样和检测过程中的因素产生的误差和不确定性进行了详细的考虑。该标准提供了实施核查和校准活动的指导，以确保粒子计数设备的准确性和可靠性。

该标准还包含了洁净室等级的分类方法。根据标准规定的测试程序和要求，洁净室可以分为不同的等级，以确保洁净室中粒子数量的控制。这有助于不同行业根据特定需求确定洁净室的等级，并确保其能够满足所需的洁净要求。

总之，ISO 14644-3:2019（e）是一项为洁净室设计、操作和评估提供指导的国际标准。它对洁净室中的粒子计数方法和设备进行了规范，包括测量方法、设备的性能要求，以及误差和不确定性的考虑。此外，该标准还提供了洁净室等级分类的方法，以确保洁净室的质量控制符合要求。