离子注入机中法拉第杯 测量原理

离子注入机中的法拉第杯是用来测量离子注入的电荷数量的。法拉第杯基于法拉第定律，该定律描述了通过电解质溶液中的电流与通过溶液中的离子数之间的关系。法拉第杯是一个电极，它与电解质溶液接触，并且通过它流过的电流与溶液中的离子数成正比。当离子注入机中的离子通过法拉第杯时，法拉第杯会测量通过它的电流，并根据电流的大小计算出离子的电荷数量。