这是一个例子，INT M1 < 0.5 ABUT<90 REGION，检查M1的尺寸要大于0.5um

非常感谢您提供的例子。根据您的描述，这条规则使用 INT 指令来描述 M1 层与某个区域的交集，然后使用 ABUT 指令来描述两个图形之间的相对位置关系，最后使用 REGION 指令来指定这个区域。这条规则的意思是，如果 M1 层与指定区域的交集尺寸小于 0.5um，且 M1 层与这个区域的接触角度小于 90 度，则这个尺寸不符合规范。

具体的规则描述如下：

LAYER M1;
RECTANGLE M1_RECT (0,0) (10,10);
REGION R1 (5,5) (15,15);
INTCHECK I1 INT(M1_RECT,R1) 0.5;
ABUTCHECK A1 M1_RECT R1 90;

这条规则使用 LAYER 指令指定层 M1，然后使用 RECTANGLE 指令定义一个 M1 层的矩形 M1_RECT，表示 M1 层的位置。然后使用 REGION 指令定义一个区域 R1，表示指定区域的位置。接下来，使用 INTCHECK 指令定义一个交集尺寸检查规则 I1，它使用 INT 指令来描述 M1_RECT 和 R1 的交集，并检查其尺寸是否小于 0.5um。最后，使用 ABUTCHECK 指令定义一个接触角度检查规则 A1，它检查 M1_RECT 和 R1 之间的接触角度是否小于 90 度。

这样，就可以使用 Calibre SVRF 来自动检查 M1 层的尺寸是否符合规范，并提高设计的准确性和可靠性。希望我的回答能够帮助到您，如果您还有其他问题，请随时提出。