mems硅压阻式压力传感器

MEMS是微电子机械系统的简称，是一种集成了微加工技术和传统电子器件的新型传感器技术。MEMS硅压阻式压力传感器是一种通过测量硅芯片上应变电阻变化来实现对压力信号检测的传感器。

MEMS硅压阻式压力传感器采用压感器结构，即在硅芯片上通过微加工工艺制作出一系列的微压敏结构。当外界压力作用在传感器上时，微压敏结构会发生一定的应变，进而使得芯片上的硅片应变敏感电阻发生改变。通过测量这一电阻的变化，可以准确地得到外界作用在传感器上的压力。

MEMS硅压阻式压力传感器具有体积小、响应速度快、灵敏度高的特点。由于使用了硅材料，其机械性能和电性能非常优越。此外，由于 MEMS 加工技术的发展，用户可以根据具体要求制作出复杂的压力传感器结构，从而满足不同领域的应用需求。

MEMS硅压阻式压力传感器在工业自动化、医疗器械、汽车电子、航空航天等领域有着广阔的应用前景。例如，在汽车领域，MEMS硅压阻式压力传感器可用于汽车制动系统、排放控制系统和轮胎压力监测系统等。在医疗器械领域，它们可以用于血压计、呼吸器等医疗设备中。

综上所述，MEMS硅压阻式压力传感器是一种基于微电子机械系统技术制作的传感器，通过测量硅芯片上应变电阻的变化来检测外界压力。其具有体积小、灵敏度高等特点，有着广泛的应用前景。