扫描电镜的主要成像信号是哪些

扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）的主要成像信号包括以下几种：

1. 二次电子（SE）信号：当电子束扫描样品表面时，部分电子被物质表面原子或分子散射出来，形成二次电子信号。二次电子信号用于获取样品表面形貌和表面特征的图像。

2. 回散电子（BSE）信号：当电子束与样品相互作用时，部分电子会发生弹性散射，改变方向并逸出样品表面。这些回散电子的能量与样品的原子序数和密度有关，因此可以提供有关样品的化学成分和组织结构的信息。

3. X射线（X-ray）信号：当电子束与样品相互作用时，部分电子会激发样品原子内部的电子跃迁，产生特定能量的X射线。通过检测和分析这些X射线信号，可以获取样品的元素组成信息。

4. 辐射光（Cathodoluminescence，CL）信号：某些材料在受到电子束激发时会发出可见光或近红外光。这些辐射光信号可以用于研究材料的光学性质和缺陷结构。

以上信号是主要的扫描电镜成像信号，不同的信号提供了不同的信息，可以用于对样品的形貌、成分、结构和性质进行分析和观察。