GISAXS 数据分析

GISAXS ( Grazing Incidence Small Angle X-ray Scattering )是一种基于X射线散射技术的表征方法，主要用于非破坏性地研究薄膜、纳米结构和复合材料的表面和界面特性。数据分析主要包括以下几个步骤：

1. **数据采集**：通过X射线源照射样品，由于样品表面粗糙度和内部结构的影响，入射光会被散射到各个角度。GISAXS实验通常采用小角度散射，即入射角接近 grazing incidence（近似平行入射），散射角非常小。

2. **图像处理**：收集到的散射图案会经过暗场成像系统转换成二维图像，可能需要去噪、校准等预处理步骤，以便清晰展示信息。

3. **一维/二维分析**：从图像中提取一维或多维散射强度作为函数，如q-scan（散射矢量q的分布）。这有助于获取关于厚度、晶粒尺寸、粗糙度和结构周期的信息。

4. **模型拟合**：利用理论模型（如Born-Von Karman模型或层析模型）对数据进行解析，确定样品的微观结构参数，如层数、结晶度、界面间距等。

5. **结果解释**：结合理论知识，解读数据所反映的物理信息，比如表面形貌、薄膜生长状态或是异质结的行为。