比较光学显微镜、SEM、TEM三者的差异。AFM中，为什么x, y方向的尺度不可信，只有z方向的高度可信，是什么因素导致的？简述AFM的工作原理。请简要描述AFM的三种工作模式，并说明每种模式的优缺点和适用场景。

1. 光学显微镜、SEM、TEM的差异

- 光学显微镜：基于物体对于可见光的反射、透射和折射等现象进行成像。具有分辨率较低，通常在1微米以下；适用于非常规尺寸的物质，如细胞、细菌、纤维等。

- SEM：基于扫描式电子束与样品的相互作用进行成像。具有较高的分辨率，可以达到0.5纳米以下；适用于表面形貌和表面成分分析，如纳米材料、生物材料、微电子元件等。

- TEM：基于透射式电子显微镜成像原理，使用电子束穿过薄样品进行成像。具有较高的分辨率，通常可以达到0.2纳米以下；适用于结晶结构、晶格缺陷、原子尺度的成像和分析，如材料学、纳米科学等。

2. AFM的尺度不可信和工作原理

AFM是一种基于扫描探针原理的表面形貌成像技术。它通过在样品表面扫描一支极微小的探针来获取样品表面的高度信息。由于AFM的工作原理决定了探针只能在垂直于样品表面的方向上进行运动，因此只有z方向上的高度信息是可信的，而x和y方向的尺度不可信。这是因为探针在x和y方向上的移动是由扫描电压驱动的，探针的刚度和扭转会影响探针的位置和角度，从而导致x和y方向上的尺度不可信。

3. AFM的三种工作模式

- 接触模式：探针与样品表面接触，并通过探针的弹性变形来测量样品表面的形貌。优点是可以直接测量样品表面的力学性质，缺点是可能会对样品表面造成损伤。

- 非接触模式：探针在样品表面附近振荡，并通过探针与样品间的相互作用来测量样品表面的形貌。优点是可以避免对样品表面造成损伤，缺点是分辨率较低。

- 侧向力模式：探针在样品表面附近移动，并通过探针与样品表面的摩擦力来测量样品表面的形貌。优点是可以同时测量样品表面的力学性质和形貌，缺点是分辨率较低。

这三种工作模式各有优缺点，适用于不同的应用场景。接触模式适用于硬度较高的材料，非接触模式适用于脆性材料和高分辨率成像，侧向力模式适用于对样品表面力学性质和形貌的同时进行测量。