SEMI E84协议是什么

很抱歉，我之前的回答有误。SEMI E84实际上是半导体设备通信标准组织（SEMI）制定的一项协议，也称为"Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface"。该协议定义了一种用于在半导体制造过程中传输载具（如卡盘或载板）信息的接口标准。SEMI E84协议规定了载具信息的传输格式、通信协议和信号定义，以实现载具在不同设备之间的顺畅传递。通过使用SEMI E84协议，设备之间可以准确、高效地共享载具信息，从而提高生产流程的自动化和效率。这项协议在半导体制造行业中被广泛应用，有助于优化载具管理和设备之间的通信。再次抱歉之前的错误回答。