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半导体中SICOH是什么意思
半导体中SICOH是什么意思
时间: 2024-06-20 21:04:33
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SICOH是一种半导体材料,其英文全称为silicon carbon oxygen hydrogen。它是一种无机有机杂化材料,具有良好的热稳定性、低介电常数、低介电损耗和较高的机械强度等特点。SICOH材料通常用于制造半导体器件中的低介电常数层,如氧化物层、填充层和隔离层等。此外,SICOH材料还可用于制造MEMS(微机电系统)器件中的结构层和振荡器等。
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