日立cdsem9380原理

日立cdsem9380是一种电子束扫描显微镜，它的原理是通过发射枪将电子束加速到非常高的速度，然后聚焦到样品表面进行扫描。扫描时，电子束从上到下以及从左到右扫描样品表面，然后收集电子反射信号和次级电子信号。这些信号随后被放大和处理，通过显像设备转换成观察者可视化的图像。

该仪器主要由以下部分组成：电子枪、聚焦器和偏转器、样品台和检测系统。

电子枪产生高能电子束。在电子枪内部，采用了热阴极来产生电子束。电子束在出来之后，通过聚焦器和偏转器进行聚焦和偏转，保证电子束能够在样品表面进行细致的扫描。

样品台可以固定样品，并且可以控制样品的x，y，z方向的移动，这样可以进一步扩大扫描范围，以及检测各个角度下的样品形貌。

检测系统能够收集反射电子信号和次级电子信号，通过放大和处理保证信号的稳定，并输出到显像设备。

总之，日立cdsem9380的原理是利用电子束扫描样品表面，收集电子反射信号和次级电子信号，通过放大和处理输出到显像设备，以观察样品的形态和结构。它在材料科学、物理、化学等研究领域中具有重要应用。