简述平板电容式角位移传感器工作原理

平板电容式角位移传感器是一种将被测量的角度转换为电容量变化的传感器。它由两个平行金属板组成的平板电容器构成，当被测量的角度发生变化时，极板间的距离δ发生变化，从而引起电容量的变化。电容量的变化可以通过测量电路转换为电量输出。因此，平板电容式角位移传感器的灵敏度与极板间距离δ有关。在变极距型电容传感器中，可以通过减少初始极距δ0的办法来提高灵敏度。在变面积型电容传感器中，可以通过不同的结构设计来实现不同的测量范围和灵敏度。在变介质型电容传感器中，可以通过改变两种介质的极板覆盖面积来实现非导电散材料的物位测量。