晶圆级先进封装中挂镀
时间: 2024-03-23 12:34:35 浏览: 233
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晶圆级先进封装中的挂镀是一种常见的封装工艺,用于在晶圆上形成金属连接。挂镀是指将金属材料通过电化学方法沉积在晶圆表面或孔洞内部,以实现电连接或保护作用。
挂镀工艺通常包括以下几个步骤:
1. 清洗:将晶圆进行清洗,去除表面的杂质和污染物,以保证挂镀层的质量。
2. 预处理:对晶圆表面进行处理,例如使用化学溶液进行蚀刻或活化处理,以增加金属材料与晶圆表面的粘附性。
3. 挂镀:将晶圆浸入含有金属离子的电解液中,通过施加电流使金属离子还原成金属原子,并在晶圆表面沉积形成金属层。
4. 清洗和干燥:将挂镀后的晶圆进行清洗和干燥,去除残留的电解液和其他杂质。
挂镀可以实现晶圆级封装中的电连接和保护功能。通过挂镀,可以在晶圆上形成金属线路,连接芯片内部的电路和外部引脚,实现信号传输和电源供应。同时,挂镀还可以提供对晶圆的保护,防止其受到机械损伤、氧化或腐蚀。
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