简述共焦球面扫描干涉仪的分光原理。

共焦球面扫描干涉仪（Confocal Fabry-Perot Interferometer, CFPI）是一种用于测量光学薄膜厚度和折射率的非接触式光学测量仪器。其分光原理如下：

CFPI是由两个共焦的球面镜组成的干涉仪，其中一个镜片是固定的，另一个镜片可以沿法线方向运动。在入射光线与球面镜法线的夹角很小时，光线被球面反射后呈现出各种模式的干涉图样。这些干涉图样的强度和相位分别与球面镜之间的距离和介质折射率相关。

当外部光源通过样品并反射回球面镜时，球面镜会将反射光聚焦到一个点上，并与来自固定球面镜的光发生干涉。此时，移动球面镜会改变干涉环的位置，从而改变干涉环的强度和相位，这些变化可以通过检测干涉环的强度和相位来确定样品的厚度和折射率。

因此，CFPI通过分析干涉环的强度和相位变化来测量样品的光学性质，具有高精度、非接触、无损等优点，广泛应用于光学薄膜和材料的表征。