英飞凌 overlay

英飞凌(Infineon) Overlay是一种用于光刻制程中的图案对准技术。在光刻制程中，多层光刻胶需要依次叠加并与已被曝光的底层对准，以形成多层复杂的芯片模式。Overlay技术用于确保各层之间的图案对准精度，以提高芯片的制造质量。

英飞凌Overlay技术采用光刻机上的对准系统，通过对准标记的识别和比对，实现多层芯片图案的精确对准。它可以检测和纠正光刻胶在重复叠加过程中可能引起的微小偏移，确保各层之间的图案位置精度。该技术具有高精度、高稳定性和高效率的特点，可以实现亚微米级的对准精度。

英飞凌Overlay技术在半导体制造中具有重要的作用。芯片的错位对准可能导致电路参数的偏移和工艺问题，进而影响芯片的性能和可靠性。通过使用Overlay技术，制造商可以实现更高的芯片制造可靠性和综合性能。

最近，随着半导体工艺的不断进步，Overlay技术也在不断发展。英飞凌Overlay技术以其高精度和高效率的特点，得到了广泛的应用，并且在新一代芯片制造过程中扮演着重要的角色。