在L_edit中设计NMOS和PMOS晶体管版图时,需要注意哪些工艺层的要求以满足MOSIS/Orbit 2U SCNAMEMS的标准?
时间: 2024-10-30 13:19:06 浏览: 33
在L_edit软件中设计NMOS和PMOS晶体管版图时,首先需要熟悉MOSIS/Orbit 2U SCNAMEMS工艺的图层关系。这些工艺层包括了不同材料的掩膜层,例如n+掺杂的多晶硅层、p+掺杂的多晶硅层、n型和p型有源区、金属接触层、介电层以及各层之间的隔离层等。以下是设计时的关键步骤和注意事项:
参考资源链接:[NMOS/PMOS管版图设计](https://wenku.csdn.net/doc/6401ac71cce7214c316ebdf9?spm=1055.2569.3001.10343)
1. 在设计之前,确保Tanner软件中的工艺文件设置正确,以便反映MOSIS/Orbit 2U SCNAMEMS工艺的标准参数。
2. 根据工艺要求,创建版图布局时,NMOS和PMOS晶体管需要分别设计在不同的有源区域内。有源区的形状、大小和位置必须精确,以满足器件性能和电路设计的要求。
3. 在设计晶体管时,需要仔细布局n+和p+掺杂的多晶硅层作为晶体管的栅极,并确保它们与相应的有源区正确对齐。
4. 设计过程中应遵循DRC(Design Rule Check)要求,确保版图中的间距、宽度等参数符合工艺规范,避免短路或不连续的问题。
5. 设计完毕后,进行LVS(Layout Versus Schematic)验证,确保版图设计与电路原理图的一致性。
6. 使用DRC工具检查整体版图设计是否符合MOSIS/Orbit 2U SCNAMEMS工艺的所有规则,包括最小线宽、间距、接触孔尺寸等。
7. 如果在任何步骤中发现不符合规范的地方,需要回到版图编辑状态进行修改,直到所有规则都得到满足。
以上步骤完成后,就可以进行进一步的工艺仿真和性能测试。为了更好地理解整个设计流程和细节,《NMOS/PMOS管版图设计》这本书提供了详细的指导和实用示例,非常适合学习和参考。
参考资源链接:[NMOS/PMOS管版图设计](https://wenku.csdn.net/doc/6401ac71cce7214c316ebdf9?spm=1055.2569.3001.10343)
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