半导体RMS配方管理系统
时间: 2023-12-30 10:05:24 浏览: 111
半导体RMS配方管理系统是一种用于管理半导体生产设备的程序配方的系统。它主要用于检查生产配方的一致性,以确保制造生产的良率和质量。该系统通常包括MES上的RMS维护、FTP配方服务器、设备上报参数以及RMS和设备上报信息的检查等流程步骤。此外,半导体RMS配方管理系统还可以与其他服务器应用程序进行集成,如APC(推进过程控制)、FDC(故障检测的分类)、OEE(整体设备效率)等。同时,该系统还支持智能计划、智慧EMS、智能控件、智能能源工、智造大数据等功能,并遵循SECS/GEM标准设备联机方式和设备报警管理与状态、Recipe管理、RMS管控流程、设备作业点检等要求。\[1\]\[2\]\[3\]
#### 引用[.reference_title]
- *1* [RMS-配方管理(EQ-MES)](https://blog.csdn.net/qq_41263210/article/details/129368331)[target="_blank" data-report-click={"spm":"1018.2226.3001.9630","extra":{"utm_source":"vip_chatgpt_common_search_pc_result","utm_medium":"distribute.pc_search_result.none-task-cask-2~all~insert_cask~default-1-null.142^v91^insertT0,239^v3^insert_chatgpt"}} ] [.reference_item]
- *2* [Basic SECS concept渣渣中文翻译](https://blog.csdn.net/weixin_42662567/article/details/99225554)[target="_blank" data-report-click={"spm":"1018.2226.3001.9630","extra":{"utm_source":"vip_chatgpt_common_search_pc_result","utm_medium":"distribute.pc_search_result.none-task-cask-2~all~insert_cask~default-1-null.142^v91^insertT0,239^v3^insert_chatgpt"}} ] [.reference_item]
- *3* [Basic SECS concept翻译](https://blog.csdn.net/thanklife/article/details/123350591)[target="_blank" data-report-click={"spm":"1018.2226.3001.9630","extra":{"utm_source":"vip_chatgpt_common_search_pc_result","utm_medium":"distribute.pc_search_result.none-task-cask-2~all~insert_cask~default-1-null.142^v91^insertT0,239^v3^insert_chatgpt"}} ] [.reference_item]
[ .reference_list ]