半导体中MACRO SCRATCH是什么意思
时间: 2024-07-29 08:00:31 浏览: 146
在半导体技术中,"MACRO SCRATCH"通常指的是宏观划痕或宏观瑕疵。这个词组用来描述半导体晶圆表面的一个缺陷,特别是在制造过程中可能出现的一种不理想的状况。这种划痕可能是由于晶圆处理设备的机械磨损、工艺步骤中的划伤或者是搬运过程中的意外碰撞导致的。宏观划痕可能会对电子器件的性能造成影响,比如减小了元件的可用面积,增加电阻,甚至可能导致短路等问题。因此,为了保证半导体器件的高质量,生产过程中需要严格控制和处理这类缺陷。
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