皮拉尼和冷阴极电离真空计组成的复合真空计的工作原理和优势
时间: 2024-03-19 20:42:05 浏览: 19
皮拉尼和冷阴极电离真空计组成的复合真空计是一种常见的真空测量仪器,它的工作原理和优势如下:
工作原理:
皮拉尼计是利用气体分子的热运动与导电体的碰撞来测量气体压力的,当气体分子的平均自由程小于导电体尺寸时,气体分子与导电体碰撞的几率增大,电离气体的电子被加速并与气体分子碰撞,产生电子和离子的复合反应,故电离气体中的离子和电子数目与气体分子的数目成正比,可以测量出气体压力。
冷阴极电离真空计是利用冷阴极电离的原理来测量气体压力的,当气体分子与冷阴极碰撞时,电子被释放并与气体分子碰撞,产生电离气体中的离子和电子,离子和电子数目与气体分子的数目成正比,可以测量出气体压力。
复合真空计是将皮拉尼计和冷阴极电离真空计相结合,通过测量两种不同的气体压力来计算总的气体压力。
优势:
1. 精度高:由于复合真空计能同时测量两种不同的气体压力,因此精度更高。
2. 可以测量较高和较低的气压:皮拉尼计可以测量较低的气压,而冷阴极电离真空计可以测量较高的气压,组合后可以测量整个真空范围内的气压。
3. 可以抗干扰:由于复合真空计使用两种不同的气体压力测量,可以抵抗一些干扰和变化。
4. 可以长时间稳定地工作:复合真空计的结构比较简单,不容易出现故障,可以长时间稳定地工作。
总之,皮拉尼和冷阴极电离真空计组成的复合真空计具有精度高、能够测量较高和较低的气压、可以抗干扰和长时间稳定地工作等优势,是一种常用的真空测量仪器。