用silvaco,网格密度自己定义,横向为均匀密度,纵向为非均匀网格,在项部沉积0.2um厚的多晶硅,顶部和底部各定义一个电极
时间: 2024-03-30 17:36:18 浏览: 14
好的,您的问题是如何模拟这个多晶硅沉积过程并定义电极。首先,您需要创建一个三维模型,并定义其中的多晶硅和电极。在模型中,您可以使用Silvaco TCAD软件中的网格生成工具来创建您所需的非均匀网格和均匀网格。然后,您可以使用Silvaco TCAD软件中的沉积工具来模拟多晶硅的沉积过程。最后,您可以使用Silvaco TCAD软件中的电学仿真工具来模拟电极的行为。
具体来说,以下是您需要执行的步骤:
1. 使用Silvaco TCAD软件中的网格生成工具创建三维模型,并定义其中的多晶硅和电极。您可以使用不同的网格密度来定义不同的区域,例如,在纵向方向上使用非均匀网格,在横向方向上使用均匀网格。
2. 使用Silvaco TCAD软件中的沉积工具来模拟多晶硅的沉积过程。您需要定义多晶硅的沉积速率和厚度,并将其应用于模型中的相应区域。您还需要定义沉积过程的时间和温度等参数。
3. 使用Silvaco TCAD软件中的电学仿真工具来模拟电极的行为。您可以定义电极的形状、大小和位置,并将其连接到外部电路。您还可以模拟电极的电流和电压等行为。
通过这些步骤,您可以模拟多晶硅的沉积和电极的行为,并研究它们对器件性能的影响。希望这可以帮助您回答您的问题!
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好的,以下是用Silvaco定义一个长1.5um,宽1.5um,厚3um的长方体,材料为硅的步骤:
1. 打开Silvaco TCAD软件,创建一个新的工程。
2. 在工程中创建一个新的结构。
3. 在结构中创建一个新的区域,将其命名为“silicon”(表示硅材料)。
4. 选择“3D Box”工具,并在结构中绘制一个长1.5um,宽1.5um,厚3um的长方体。
5. 在“Edit Material”窗口中,将材料属性设置为硅。
6. 保存并运行仿真。
完成以上步骤后,您就成功地在Silvaco中定义了一个长1.5um,宽1.5um,厚3um的长方体,材料为硅。
silvaco 网格划分
对于网格划分,Silvaco是一家全球领先的半导体设备和工艺仿真软件公司,他们的产品可以用于设计和验证集成电路和MEMS(微机电系统)等器件。在电子设计自动化(EDA)领域,网格划分是一项关键技术,用于将设计领域划分为离散的单元格或网格。这种划分可以用于进行电路仿真、布局设计以及其他设计验证和优化任务。不过具体关于Silvaco在网格划分方面的产品和技术细节,可能需要查阅其官方网站或联系他们的技术支持以获取更详细的信息。