fluent中NF3和CH4反应详细的机理

NF3和CH4反应的机理如下：

1. 初步反应
NF3 + CH4 → NF2H + HF + CH3•
这是NF3和CH4的初步反应，产生了NF2H、HF和CH3自由基。

2. 反应链的开始
CH3• + NF3 → CH3F + NF2•
CH3•和NF3反应，产生CH3F和NF2•自由基。

3. 反应链的继续
NF2• + CH4 → NF• + CH3• + H2
NF2•和CH4反应，产生NF•、CH3•和H2自由基。

4. 反应链的终止
NF• + CH3F → NF2• + CH3• + F•
NF•和CH3F反应，产生NF2•、CH3•和F•自由基。

5. 最终反应
NF2H + F• → NF2• + HF
NF2H和F•反应，产生NF2•和HF。

综上所述，NF3和CH4反应的机理是一个自由基链反应过程，其中产生了NF2H、HF、CH3•、NF2•、NF•、H2和F•等自由基中间体，最终生成了NF2•、HF和CH3F。