在使用SHINCRON MIC-1350镀膜机时,如何通过触摸屏界面和SDC-1系统进行自动溅射薄膜沉积的过程控制,并对常见故障代码进行诊断与处理?
时间: 2024-11-16 13:17:40 浏览: 4
在操作SHINCRON MIC-1350镀膜机进行真空薄膜沉积时,理解触摸屏的交互方式和SDC-1系统的控制逻辑至关重要。首先,确保你已经阅读并熟悉了《SHINCRON MIC-1350镀膜机控制系统操作与故障解除手册》中的操作篇,这将帮助你掌握如何启动设备、设置溅射参数、以及进行日常操作。
参考资源链接:[SHINCRON MIC-1350镀膜机控制系统操作与故障解除手册](https://wenku.csdn.net/doc/3ms0j6bmnd?spm=1055.2569.3001.10343)
通过触摸屏界面,用户可以直观地设置溅射过程的各项参数,如温度、真空度、溅射功率等。SDC-1系统则允许用户监控和自动控制这些参数,以实现精确的薄膜制备。在实际操作中,用户需要根据镀膜材料和目标薄膜特性,选择合适的溅射工艺,并通过触摸屏输入相应的参数值。例如,若要控制溅射的厚度,可以通过触摸屏设定沉积速率和沉积时间。
在溅射过程中,若设备出现故障,SDC-1系统会显示相应的故障代码。此时,用户应立即参考故障代码解除部分的说明,根据手册中提供的故障排除流程进行故障诊断和处理。例如,若出现真空度异常,应首先检查真空泵是否正常工作,然后检查真空室和真空管道是否有泄漏,最后根据手册进行相应的维修或维护。
在进行所有操作时,确保遵守操作手册中的安全规定,以防止可能的危险和对设备的损害。此外,定期维护保养也是必要的,按照手册提供的维护指南进行清洁、润滑和部件检查,以确保设备的稳定性和延长其使用寿命。
综上所述,熟悉《SHINCRON MIC-1350镀膜机控制系统操作与故障解除手册》的内容,结合触摸屏和SDC-1系统的操作实践,将有助于你高效且安全地进行真空薄膜沉积工作。
参考资源链接:[SHINCRON MIC-1350镀膜机控制系统操作与故障解除手册](https://wenku.csdn.net/doc/3ms0j6bmnd?spm=1055.2569.3001.10343)
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