silvaco 工艺仿真

Silvaco工艺仿真是一种用于模拟器件制造过程的技术。它可以通过对扩散、离子注入、刻蚀、退火等过程进行模拟，来预测器件的结构和性能。Silvaco TCAD提供了两个主要的模块：Athena和Atlas。在进行器件仿真时，可以先使用Athena模块对制造过程的工艺步骤进行仿真，得到所需的器件结构，然后再使用Atlas模块进行器件仿真，以获得更接近实验结果的数值。

Silvaco TCAD的大部分操作都在一个叫做DeckBuild的程序中进行。DeckBuild是Silvaco的交互式图形化运行环境，可以用于输入仿真参数的代码、查看输出文件等操作。

在进行工艺仿真时，Athena模块提供了以下操作流程：几何初始化、仿真网格、基底初始化的保存与加载、工艺步骤（如沉积、离子注入、蚀刻、扩散、光刻、外延层生长等）、电极定义以及结果分析等功能。