质量流量控制器原理及应用详解

质量流量控制器原理及选型教程 质量流量控制器是一种精确测量气体流量的仪表，能够自动控制气体流量，并且可以根据需要进行流量设定。质量流量控制器的原理是基于毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，不需要温度压力补偿。 质量流量控制器的结构组成包括流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，然后将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。 质量流量控制器的原理图显示了气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。质量流量控制器的流量单位一般以sccm（StandardCubicCentimeterper Minute，每分钟标准毫升）和slm（StandardLiterper Minute，每分钟标准升）来表示，这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。 标准状态规定为：气压—101325Pa（760mmHg）；温度—0℃（273.15K）。这也是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm、slm不同于mL/min、L/min之处。 对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯、便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数，可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。 质量流量控制器在嵌入式系统中有着广泛的应用，如气体流量控制、气体检测、气体自动控制等领域。因此，了解质量流量控制器的原理和选型教程对嵌入式系统的设计和开发具有重要的意义。 质量流量控制器是一种精确测量气体流量的仪表，能够自动控制气体流量，并且可以根据需要进行流量设定。了解质量流量控制器的原理和选型教程对嵌入式系统的设计和开发具有重要的意义。