等效像元电路设计：优化红外焦平面阵列读出电路

"用于红外焦平面阵列的等效像元电路设计 (2015年) - 戴山彪等人 - 天津工业大学电子与信息工程学院" 这篇论文详细介绍了设计一种用于300 × 400红外焦平面阵列读出电路的等效像元电路的方法。红外焦平面阵列是红外成像技术中的核心组件，由大量敏感像素组成，用于检测和记录来自热源的红外辐射。在这个研究中，研究人员特别关注了氧化钒（VOx）薄膜制成的微机械系统（MEMS）的电特性。 氧化钒是一种常用的红外探测器材料，因其对温度变化敏感，可以转化为电信号。MEMS技术则允许在微小尺度上制造复杂的机械和电子结构，此处的MEMS像元是红外探测器的一部分，其电特性直接影响到整个阵列的性能。 等效像元电路的创新之处在于它能够模拟MEMS像元的行为，特别是在电流变化时。通过这种电路，科研人员可以在不实际生长VOx薄膜的情况下，即在流片后的读出电路测试阶段，评估电路的电性能。这一步骤有助于在封装之前剔除可能的不良品，从而降低了生产成本和时间。 电路设计采用了GlobalFoundry的0.35微米工艺，这是一种成熟的半导体制造技术，能够实现高精度和高集成度。实验结果显示，当积分电流在0到200纳安之间变化时，等效像元电路的电性能表现与实际的MEMS像元一致，验证了设计的有效性。 该论文的关键字包括红外焦平面阵列、读出电路、微机械系统以及等效像元电路，表明研究的核心内容集中在红外成像技术的硬件设计和优化上。该研究对于提高红外探测器的制造效率和质量，降低生产成本，以及推动红外成像技术的进步具有重要意义。