书书书
文章编号:
02587025
(
2008
)
10148506
激光诱导
犆狅
等离子体电子密度的
时间空间演化特性
张保华
1
,
2
刘文清
1
崔执凤
1
1
中国科学院安徽光学精密机械研究所大气光学中心,安徽 合肥
230026
2
安徽大学电子科学与技术学院,安徽 合肥
( )
230039
摘要
测定了激光烧蚀
Co
等离子体中
Co
原子
389.408nm
发射谱线的时间空间分辨发射光谱。由发射光谱线的
强度和斯塔克
(
Stark
)展宽计算了等离子体电子密度,并由实验结果讨论了激光等离子体中电子密度的时间 空间 演
化特 性。 实 验 结 果 表 明,当 延 时 在
100
~
1000ns
变 化 时,等 离 子 体 中 的 电 子 密 度 变 化 范 围 为
0.02×10
17
~
0.73×10
17
cm
-3
,在 沿 激 光 束 方 向 上,当 距 离 靶 表 面
0
~
1.8mm
范 围 内 变 化 时,相 应 的 电 子 密 度
狀
e
范 围 为
0.3×10
17
~
0.8×10
17
cm
-3
,等离子体电子密度在激光束方向上具有很好的对称性。
关键词
光电子学;激光诱导
Co
等离子体;时间空间分辨发射光谱;电子密度
中图分类号
TN249
;
O53
文献标识码
A
犱狅犻
:
10.3788
/
CJL20083510.1485
犜犻犿犲犪狀犱犛
狆
犪狋犻犪犾犈狏狅犾狌狋犻狅狀狅犳狋犺犲犈犾犲犮狋狉狅狀犇犲狀狊犻狋
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Zhan
g
Baohua
1
,
2
Liu Wen
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1
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狆
犺犲狉犻犮犗
狆
狋犻犮狊
,
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,
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,
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犲犻
,
犃狀犺狌犻
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,
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2
犆狅犾犾犲
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犲狅
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,
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,
犃狀犺狌犻
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犆犺犻狀犪
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Thetimeands
p
atialresolvedemissions
p
ectrumofCoatom389.408nms
p
ectralineinlaserinducedCo
p
lasmawas measured.Theelectron densit
y
of
p
lasmas wascalculatedfrom the measuredintensit
y
and Stark
broadenin
g
ofemissions
p
ectralline.Thetimeands
p
atialevolution
p
ro
p
ertiesoftheelectrondensit
y
werefinall
y
discussed. The measured results show that the
p
lasma electron densit
y
is varied from 0.02×10
17
to
0.73×10
17
cm
-3
whenthetimedela
y
isintheran
g
efrom 100to1000ns.Itisalsoconcludedthatthe
p
lasma
electrondensit
y
isvariedfrom0.3×10
17
cm
-3
to0.8×10
17
cm
-3
alon
g
thedirectionofthelaserbeam whenthe
distancefromtar
g
etsurfaceisintheran
g
efrom0to1.8mm.Thedistributionofthe
p
lasmaelectrondensit
y
alon
g
thelaserbeamhaswells
y
mmetr
y
.
犓犲
狔
狑狅狉犱狊
o
p
toelectronics
;
laserinducedCo
p
lasma
;
timeands
p
atialresolvedemissions
p
ectra
;
electrondensit
y
收稿日期:
20071022
;收到修改稿日期:
20080201
基金项目:国家自然科学基金(
10674002
)资助项目。
作者简介:张保华(
1962
—),女,安徽人,博士研究生,主要从事分子光谱和环境光学领域的理论和实验研究。
导师简介:崔执凤(
1963
—),男,安徽人,教授,主要从事多原子分子、自由基光谱、激光等离子体及其应用领域的研究。
Email
:
zfcui
@
mail.ahnu.edu.cn
(通信作者)
1
引
言
利用脉冲激光沉积技术可以获得理想化学配比
的薄膜
,且具有实 验装置简 单、适用性 强、沉积效 率
高等优点,被广泛 应用于高 温 超导体、半导体、铁 磁
体、类金刚石 等薄膜的 制 备
[
1
]
。激 光 等离子体动力
学是脉冲激光沉积 技术的基 础,电子密 度 是描述等
离子体特性的重要 参数
,而脉 冲 激光诱导 的 等离子
体是与时间空间相关的非稳态等离子体。因此对激
光等离子体电子密度的时间和空间演化特性进行深
入的研究,对提高薄膜质量、控制实验条件以及理解
激光烧蚀沉积的物理机制,具有实际意义。
研究等离子体中电子密度特性的方法有各种微
第
35
卷
第
10
期
2008
年
10
月
中
国
激
光
CHINESEJOURNALOFLASERS
Vol.35
,
No.10
October
,
2008