纳米位移测量新突破：双频氦氖激光回馈系统研究

"双频氦氖激光回馈位移测量系统的实验与应用研究 (2007年) - 崔柳, 张书练" 本文是关于一项创新性的纳米尺度位移测量技术的研究，该技术基于双频氦氖激光器。在传统的He Ne激光器中，激光谐振腔内的双折射元件引入了频率分裂效应，导致激光输出由单一频率变为两个频率相隔可调的正交偏振光——o光和e光。这种双频激光器的设置允许通过在外置反射表面反射激光束并将其回馈至谐振腔内来调节激光强度，从而实现高分辨率、非接触式的位移测量。 文章提出了一种细分方法，这种方法的关键在于克服了传统干涉测量系统的衍射极限，即一般为1/2波长的分辨率限制。在633nm波长的He Ne激光下，该系统的理想分辨率可以达到1/8波长，约为79nm，显著提高了测量精度。 文章作者崔柳和张书练来自清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室。他们的工作不仅涉及理论分析，还涵盖了实际实验，这表明该系统已经在实验室环境中进行了验证，并可能有广泛的应用前景。论文的关键词包括激光回馈、频率分裂、判向位移测量和细分方法，暗示该研究可能对光学测量、精密工程和纳米技术等领域具有重要价值。 中图分类号和文献标志码表明这是一篇工程技术领域的学术论文，其内容可能对科研人员、工程师以及相关领域教育工作者具有很高的参考价值。通过深入研究和优化这样的位移测量系统，可以期待在微纳米制造、光学仪器设计、材料科学等领域的精确测量技术得到进一步提升。