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• “开盒即用”晶片中不可预测的弓形测 对
HB-LED 产量和设备性能有直接和负面的影响。
• ASF 材料的弓形在所有已评估样品中具有最
小的不可预测性,并可以达到最高的“开盒
即用”晶片产量。
• EPD 被认为是一种不可靠的质量鉴定技术,
这归因于其测量技术的高度变异性,其无法确
定“开盒即用”晶片和 HB-LED 设备的产量。
背景
2010 年 7 月 29 日,GT Advanced
Technologies 成功获得了晶系 (CSI)。作为四
十年以来全球生产最高质量蓝宝石的技术领先
者,CSI 已为 LED 行业供应了 12 年的蓝宝
石材料。继获得晶系之后,GT 在 MA 塞伦的
CSI 晶片生长设备的产量翻了两番。GT 也发
展并将 ASF 热交换法法商业化,使之成为高
度竞争的外购市场的蓝宝石生长火炉法,以使
新的市场加入者能开发蓝宝石衬底业务并满足
LED 行业对蓝宝石衬底不断增加的需求。GT
将其晶片生成设备作为衬底业务和技术开发中
心以及 ASF 客户的培训设备进行经营。
2011 年初,GT 启动了一个大规模的蓝宝石材
料鉴定项目,以确定在 HB LED 设备制造流程
中蓝宝石材料是否满足“关键指标”。本项目
的重要组成部分包括由第三方分析实验室和材
料科学专家共同执行蓝宝石基本属性的分析研
究。(图 2 – 表征研究概述)
输入: 蓝宝石的可测量基本属性
蓝宝石晶锭 成品晶棒 开盒即用衬底片 LED衬底片 LED芯片 LED夜光灯
▪
LED材料产量
(毫米,品
质,成本)
▪
OHT(小角度晶
界测量学,晶体
结构,气泡)
▪
LED 衬底产量和品质
(衬底产量,晶圆地
理度量,每片衬底的
成本)
▪
干涉传动
(200 800纳米)
▪
GDMS(元素分析)
▪
外延片 产量和性
能(外延片效率,
低缺陷及性能)
▪
LED设备产量(设备
色彩面元,亮度,
电气性能)
▪
激光检验和 LED 表
面测量(前和后
EPI 自动激光晶圆
检验)
▪
夜光灯(美学,性
能,亮度,寿命)
▪
X 射线衍射
(晶体微结构)
▪
物物理属性
▪
材料颜色分析
(颜色测量)
▪
X 射线
(晶体分析)
步骤:LED 步骤变量和宏观交互
产出: 产量,设备性能,经济状况
(GT Advanced
Technologies)
切片研究
(第三方)
MOCVD研究
(第三方)
LED生产线
(第三方)
LED
夜光灯
(第三方)
▪
晶体增长
(产量,步骤)
▪
成品晶棒加工
(步骤)
▪
晶棒切片
(步骤和性能)
▪
外延片分析
(晶圆产 量,Ra,
TTV,弓形弯曲)
▪
晶圆 EDP 分析
(点/平方)
▪
晶膜增长
(步骤和性能)
▪
光激发光法
(LED灯计量,波
长,色彩亮度)
▪
领先的 LED 计量公
司(外延后 自动激
光晶圆检验)
▪
LED装配
(步骤和性能)
▪
电气性能
(正向电压,反向漏
电流,等等)
▪
LED灯性能
(峰值波长,亮度,
面元)
▪
LED灯
(概念验证)
图 2 – 表征研究概述
ASF 的长晶材料
始终优于竞争
长晶技术
• 更高产量
• 更高质量的晶片
• 更亮的HB-LED
装置
© 2012 GTAT Corporation 注:新标题 - 高价值 HB-LED 和外延晶片从 GT ASF
™
生长蓝宝石开始 案例研究