梳状音叉MEMS陀螺非随机误差特性与模型研究

本文主要探讨了梳状音叉型微电子机械系统(MEMS)陀螺仪的非随机误差特性，这是在2006年由李荣冰、刘建业等人在《电子科技大学学报》发表的研究。梳状音叉MEMS陀螺是一种先进的微型传感器，因其尺寸小、功耗低等特点在惯性导航系统(INS)中具有广泛应用前景。 研究者首先关注了梳状音叉陀螺的核心部件——质心偏移以及硅材料的非等弹性等关键因素，这些因素可能引入非随机性的干扰力矩。通过对这些因素的深入分析，他们试图理解这些因素如何影响陀螺的精确度和稳定性。在欠阻尼控制系统理论的框架下，他们详细讨论了这些干扰力矩在陀螺内部的调制和解调过程，解释了它们如何转化为实际测量误差，并影响陀螺的输出信号。 接着，论文进一步探讨了开环灵敏度与工作条件的关系，包括温度、比力（即传感器所受外力与转动惯量之比）以及角速度的变化。通过数学建模，作者在特定的近似条件下，得到了梳状音叉MEMS陀螺非随机性误差的模型表达式，这为理解和减小误差提供了理论依据。 关键词“MEMS陀螺”、“非随机性误差”、“微电子机械系统”和“惯性导航”表明了文章的核心研究内容，强调了在构建高精度惯性导航系统时，对陀螺非随机误差的深入理解和控制的重要性。中图分类号V241.59和文献标识码A表明这是一篇学术论文，旨在提供严谨的科学分析。 这篇文章为我们揭示了梳状音叉MEMS陀螺非随机误差的来源、影响机制以及如何通过理论模型来优化其性能，对于提高微型惯性传感器的精度和可靠性具有重要意义。对于从事微电子、机械工程、传感器技术或惯性导航领域研究的人来说，这篇论文提供了有价值的信息和方法论参考。