纳米测量新突破：集成化单频激光干涉仪

"用于纳米测量的集成化单频激光干涉仪" 本文介绍了一种创新的集成式单频激光干涉仪，特别适用于纳米级别的精密测量。该仪器基于偏振光学原理，通过采用偏振光学变换技术，成功实现了光学4细分结构，从而显著提升了测量的灵敏度。这种设计使得干涉仪能够更准确地检测微小的变化，对于纳米测量至关重要。 在干涉仪的构造上，研究人员构建了4路正交探测结构，这一设计引入了无源偏振调制，有效扩大了干涉仪的测量范围。无源偏振调制意味着系统不需要额外的外部驱动或电源来调整偏振状态，降低了系统的复杂性并提高了稳定性。 光路集成化是该干涉仪的另一大特点，它将整个光路集成在一个紧凑的装置中，减少了外部环境因素对测量结果的影响，比如温度变化和机械振动。这不仅提高了仪器的便携性和可靠性，还使得动态范围得到扩展，能够在更广泛的条件下保持高精度测量。 经过振动测量实验，该集成单频激光干涉仪的静态位移测量误差控制在±0.3纳米以内，显示出极高的测量精度。同时，其振动测量的分辨率达到了10 pm/Hz1/2，这意味着它可以捕捉到极其微弱的振动信号。这些性能使得该干涉仪在纳米测量领域，如材料科学研究、微电子制造、精密机械工程以及生物医学检测等多个方面有广泛的应用潜力。 关键词涉及到的主要概念包括：测量技术、激光干涉仪的运用、纳米测量的挑战、差动干涉的原理以及光路集成化设计的优势。文章通过中图分类号和文献标识码进行了学术归类，表明其在科技文献中的专业地位。作者来自哈尔滨工程大学理学院光子科学与技术研究中心，他们的研究为纳米测量提供了新的工具，对于提高我国在该领域的技术水平具有重要意义。