Silvaco TCAD实战指南：半导体仿真工具解析

"《半导体工艺和器件仿真工具++Silvaco+TCAD+实用教程》是一本由唐龙谷编写的教程，详细介绍了Silvaco TCAD软件在半导体器件和集成电路研究、开发、测试和生产中的应用。" Silvaco TCAD是半导体行业内广泛使用的仿真工具，它结合了半导体工艺和器件模拟，对于优化设计和缩短产品上市时间至关重要。随着电子工业的快速发展，半导体器件的技术进步不断推动电子产品的创新。然而，行业竞争激烈，高昂的技术投资和快速的技术迭代使得缩短开发周期变得至关重要。 计算机仿真技术，特别是基于TCAD（Technology Computer-Aided Design）的软件，成为解决这一问题的有效手段。TCAD软件利用固体物理和半导体物理的理论，通过计算和模拟来预测半导体工艺和器件性能，降低了实验成本，提高了设计效率。Silvaco TCAD在该领域处于领先地位，其包括二维工艺仿真器ATHENA和二维器件仿真器ATLAS，能够精确模拟复杂的半导体工艺过程和器件行为。 本书着重介绍了Silvaco TCAD中的核心工具，如ATHENA和ATLAS，它们分别用于工艺和器件的仿真。此外，还讲解了DeckBuild这样的交互式环境，用于构建仿真流程，以及Tonyplot，用于可视化仿真结果。尽管如此，对于三维仿真部分，书中仅提到了一些关键点，可能更适合已有一定基础的读者。 作者唐龙谷根据个人的学习和使用经验，分享了仿真领域的实用技巧和深入理解，旨在为初学者提供一个全面的入门指南。通过阅读本书，读者可以系统地学习Silvaco TCAD，理解如何使用这些工具进行工艺和器件的仿真，从而在实际工作中提高效率，降低研发风险。 这本教程不仅涵盖了Silvaco TCAD的基本操作，还包含了作者在实践中积累的宝贵经验，对于想要进入半导体工艺和器件仿真领域的学习者或工程师而言，是一份宝贵的参考资料。