书书书
第
33
卷
光
学
学
报
光学前沿———光电技术
2013
年
6
月
犃犆犜犃犗犘犜犐犆犃犛犐犖犐犆犃
专
刊
基于散焦光栅成像装置的光束对准系统
高国昌
1
,
2
司
磊
1
马浩统
1
夏雪球
1
1
国防科学技术大学光电技术学院,湖南 长沙
410073
2
西北核技术研究所,陕西 西安
( )
710024
摘要
传统的光束漂移测量及校正系统结构复杂、实 时性 低。针 对这 一问 题,提 出了 一种 基 于散 焦光 栅 成像 装置
的光束对准系统,该系统利用
±1
级衍射光斑的位置变化来计算光束的平漂量和角漂量,并控制
2
块倾斜镜分 别实
现光束平漂和角漂的校正。衍射光斑的形态变化和相机 的采 样能 力 是影 响系 统 漂移 量测 量 及校 正能 力 的重 要因
素。实验结果表明:系统能实现静态和准静态光束漂移量的 稳定 闭环,光 束 校正 后的 离 轴残 差为
0.1 mm
,倾 斜残
差约
12″
。最后指出系统的改进方向。
关键词
测量;散焦光栅;光束对准;漂移量校正
中图分类号
TB133
文献标识码
A
犱狅犻
:
10.3788
/
犃犗犛201333.狊112005
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犗犆犐犛犮狅犱犲狊
230.1950
;
220.1140
;
050.1950
;
110.2970
;
120.1680
收稿日期:
20130201
;收到修改稿日期:
20130301
作者简介:高国昌(
1982
—),男,硕士研究生,主要从事光电测量技术方面的研究。
Email
:
g
ad
y
2010
@
163.com
导师简介:司磊(
1972
—),男,教授,主要从事光电工程技术方面的研究。
Email
:
w
_
zt
@
163.com
1
引
言
传统 的光束漂移 测量及校正 系统,如双 光束补
偿法和自适应光学 校正法等,总体上是 采 取预设基
准点的方式,先对近场平 漂量(光瞳)进行测量 和 校
正,再对角 漂 量 (光 轴)进 行 测 量 与 校 正
[
1
~
4
]
。系统
结构复杂,漂移量校正实时性低。
1999
年,
Blanchard
等
[
5
]
发 明 了 振 幅 型 散 焦 光
栅,随后研制出光栅 型 波前曲率 传 感器
[
6
]
。但振幅
型散焦光栅 存 在光能利 用 率低、
0
级光斑闪 烁 的 缺
点。
2008
年,
Xi
等
[
7
,
8
]
研制出了 二 元相位型散焦光
栅,使得
±1
级衍射光的衍射效率达到
40%
左右,将
0
级衍射抑制在
1%
,并利用该型光栅实现了光束质
量
犕
2
的测量。
Ma
等
[
9
]
在 实 验 中 发 现 光 束 漂 移 量
与衍射光斑位置变 化存在对 应 关系,进 而推导出 用
散焦光栅测量光束漂移量的物理公式。为了验证基
于散焦光栅装置实 现光束对 准 的可行性,本文设计
s1120051