镀金飞秒激光法实现大面积均匀微纳结构加工
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更新于2024-09-04
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本文主要探讨了"镀金薄膜辅助的飞秒激光制备大面积、均匀表面微纳结构"这一前沿技术。由冯品、姜澜等人在中国科技论文在线发表的研究论文中,他们提出了一种创新且可重复的加工方法,特别适用于半导体或电介质表面的大面积微纳结构制备。
该研究的核心在于利用飞秒激光与20纳米厚的金薄膜相结合。飞秒激光是一种极其快速的脉冲激光源,其脉宽极短,能够在极短时间内进行极高精度的材料去除或加工。通过在待加工表面上沉积一层金膜,金的高反射性和良好的热传导性能能够有效地控制激光能量的分布,从而实现对微纳结构的精确控制和大面积的均匀化处理。
论文作者们关注的重点是大面积微纳结构的批量制造,冯品硕士研究生主要负责这项技术的开发,而李信副教授则作为通讯作者,她的研究主要集中在飞秒激光蚀刻过程的机理上。她对飞秒激光如何精确地作用于材料表面,以及如何通过镀金薄膜调控热效应,确保结构的均匀性和一致性有深入的理解。
国家自然科学基金(NSFC)资助了此项研究,项目编号包括51025521和51105037,同时还有高等教育博士生专项研究基金(GrantNo.20111101120010)的支持。这表明这项工作得到了科研界的高度重视,并且具有较高的学术价值。
这项研究不仅提升了大面积微纳结构的制造效率,还通过镀金薄膜优化了工艺过程,使得飞秒激光在大规模生产环境中的应用成为可能。这对于微电子、光电子、生物医学等领域,特别是对那些依赖精细表面结构的器件和设备制造具有重要的实际意义。未来,随着这一技术的进一步发展和完善,有望推动整个纳米制造领域的技术革新。
2021-02-07 上传
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