使用eM-Plant优化具有晶圆重入的单臂组合设备调度的仿真策略

"基于eM-Plant求解具有晶圆重入过程的单臂组合设备最优调度的仿真方法 (2012年)" 在半导体制造业中，晶圆的处理过程是高度复杂的，尤其当涉及到晶圆重入（Wafer Revisiting）时，如原子层沉积（Atomic Layer Deposition, ALD）工艺。这类工艺要求晶圆在不同步骤之间反复进入和退出设备，增加了调度的难度。单臂组合设备（Single-Arm Cluster Tool）是这类设备的一种，用于执行多个连续的加工步骤，它的调度优化对于提高生产效率和降低成本至关重要。 该研究主要关注如何解决单臂组合设备中ALD重入过程的最优调度问题。通过建立系统Petri网模型，可以抽象和表示设备的操作流程以及晶圆的移动路径。Petri网模型是一种图形化工具，能有效地表示并发和同步行为，非常适合描述复杂的制造系统。 研究者利用建立的Petri网模型，对可能的调度方案进行分析，通过比较不同调度下的生产节拍（Cycle Time），可以找出使得总体生产效率最高的最优调度策略。这种方法的优势在于，它只需要评估相对较少的调度组合，就能找到最优解，大大减少了计算复杂性。 为了进一步验证提出的调度方法，研究者开发了基于eM-Plant的仿真系统。eM-Plant是一款强大的离散事件仿真软件，它能够精确模拟实际的生产环境，从而准确评估不同调度策略的性能。通过输入系统参数，这个仿真系统可以计算出给定调度下的生产节拍，帮助确定最佳操作方案。 论文中通过一个具体的应用示例，展示了所提方法的实际应用效果。实例分析表明，该方法不仅理论上可行，而且在实际应用中也能有效找到满足晶圆重入要求的最优调度策略，从而提高半导体生产设备的利用率和生产效率。 这篇论文提出了一个基于Petri网和eM-Plant仿真工具的解决方案，用于解决单臂组合设备中涉及晶圆重入的调度优化问题。这种方法为半导体制造领域的生产计划和控制提供了新的思路，有助于提升半导体制造的自动化水平和整体性能。