使用eM-Plant优化具有晶圆重入的单臂组合设备调度的仿真策略
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更新于2024-08-11
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"基于eM-Plant求解具有晶圆重入过程的单臂组合设备最优调度的仿真方法 (2012年)"
在半导体制造业中,晶圆的处理过程是高度复杂的,尤其当涉及到晶圆重入(Wafer Revisiting)时,如原子层沉积(Atomic Layer Deposition, ALD)工艺。这类工艺要求晶圆在不同步骤之间反复进入和退出设备,增加了调度的难度。单臂组合设备(Single-Arm Cluster Tool)是这类设备的一种,用于执行多个连续的加工步骤,它的调度优化对于提高生产效率和降低成本至关重要。
该研究主要关注如何解决单臂组合设备中ALD重入过程的最优调度问题。通过建立系统Petri网模型,可以抽象和表示设备的操作流程以及晶圆的移动路径。Petri网模型是一种图形化工具,能有效地表示并发和同步行为,非常适合描述复杂的制造系统。
研究者利用建立的Petri网模型,对可能的调度方案进行分析,通过比较不同调度下的生产节拍(Cycle Time),可以找出使得总体生产效率最高的最优调度策略。这种方法的优势在于,它只需要评估相对较少的调度组合,就能找到最优解,大大减少了计算复杂性。
为了进一步验证提出的调度方法,研究者开发了基于eM-Plant的仿真系统。eM-Plant是一款强大的离散事件仿真软件,它能够精确模拟实际的生产环境,从而准确评估不同调度策略的性能。通过输入系统参数,这个仿真系统可以计算出给定调度下的生产节拍,帮助确定最佳操作方案。
论文中通过一个具体的应用示例,展示了所提方法的实际应用效果。实例分析表明,该方法不仅理论上可行,而且在实际应用中也能有效找到满足晶圆重入要求的最优调度策略,从而提高半导体生产设备的利用率和生产效率。
这篇论文提出了一个基于Petri网和eM-Plant仿真工具的解决方案,用于解决单臂组合设备中涉及晶圆重入的调度优化问题。这种方法为半导体制造领域的生产计划和控制提供了新的思路,有助于提升半导体制造的自动化水平和整体性能。
2021-09-21 上传
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Dante_9k
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