非周期多层膜在EUV、软X射线和X射线领域的进展

1 下载量 98 浏览量 更新于2024-08-27 收藏 864KB PDF 举报
"这篇文章是关于在EUV(极紫外)、软X射线和X射线范围内非周期性多层膜的发展。文章介绍了针对不同应用,如硬X射线望远镜、同步辐射设施中的偏振测量、EUV太阳观测以及中国稠密等离子体诊断等,设计和开发了一系列具有特殊性能的非周期新型多层膜。具体包括X射线超级反射镜、EUV宽带偏振器、EUV广角反射镜和双周期Kirkpatrick-Baez(K-B)反射镜。这些设计采用了不同的多层膜堆叠结构。" 这篇论文回顾了近年来在镜子技术方面的进展,特别关注于非周期性多层膜的开发。这种非周期性设计是针对特定需求而产生的,例如在硬X射线望远镜中,需要高反射率的镜片来增强探测能力;在同步辐射设施的偏振测量中,需要能够控制光束偏振状态的膜层;对于EUV太阳观测,需要能广泛吸收EUV波段光谱的宽频偏振器;而在等离子体诊断中,需要对入射角度有广泛适应性的反射镜,以确保在复杂环境下的有效探测。 文章中提到的X射线超级反射镜是一种具有极高反射率的特殊镜片,它能在X射线范围内保持高效的反射性能,这对于需要穿透强背景辐射的深空探测或高能物理实验尤其重要。EUV宽带偏振器则能够在一个广泛的EUV波段内调整光的偏振状态,这对于研究太阳和其他天体的EUV辐射特性非常关键。EUV广角反射镜则是为了应对大视场观察的需求,能在较宽的角度范围内保持良好的反射效率,适用于空间天文和等离子体研究。最后,双周期K-B反射镜是一种高精度的聚焦镜系统,通过两组周期不同但相互协调的多层膜,能够在两个不同的波长上实现高分辨率的成像。 这些非周期多层膜的设计和制造技术通常涉及复杂的磁控溅射工艺,这是一种精密的薄膜沉积技术,能够精确控制不同材料的层厚和顺序,以实现预期的光学性能。通过优化多层膜的堆叠结构,可以实现对特定波长或波段的高效反射、透射或偏振。 论文的OCIS代码(Optical Society of America Indexing Service codes)包括310、340、350,分别对应光学的某些子领域,比如310可能代表光学设计与制造,340可能代表X射线光学,350则可能涉及更具体的X射线光谱学或成像技术。 这篇论文揭示了非周期多层膜在EUV、软X射线和X射线光学领域的创新应用,展示了如何通过精心设计的多层膜结构来满足不同科学和工程需求,对于提升相关领域的探测和测量能力具有重要意义。