Mercury II 6000系列:高精度光栅测量系统
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更新于2024-07-16
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"GSI Mercury II 6000系列光栅系统是一款高性能的测量设备,具备高分辨率和精确度。该系统支持线性分辨率从5μm到1.22nm,旋转分辨率范围在20k到268MCPR之间。其设计允许使用直线金属、直线玻璃或圆形玻璃光栅尺,以满足不同应用需求。系统精度方面,金属光栅尺精度为±5μm/m,直线玻璃光栅尺精度为±1μm(标准为±1.5μm到±5μm),而圆形玻璃光栅尺的精度达到最大±2.1arc-sec。输出信号采用A-quad-B,指数脉冲,双限位和警报的形式。读数头设计紧凑,厚度仅为8.2mm,适用于有限空间的安装,并且具有智能编程功能,可在整个过程中调整分辨率。此外,系统还具有低周期误差(±20nm),高速度能力(在0.1μm分辨率下可达5m/s),低能耗,以及优秀的抗污性。安装公差宽松,连接器上的LED指示灯可显示系统状态。MicroESystems的SmartPrecisionII软件可用于设置、编程、监测和诊断。产品符合RoHS和CE认证,提供多种可选特性,如定制长度的金属和玻璃光栅尺。"
GSI Mercury II 6000系列光栅系统的核心在于其高分辨率和精度。该系统采用了先进的数字信号处理技术,提供了从5微米到1.22纳米的线性分辨率,以及从20k到268百万计数每旋转(MCPR)的旋转分辨率,这些特性使其在精密测量领域具有极高的竞争力。系统兼容性强,能与不同类型的光栅尺配合,包括直线金属、直线玻璃和圆形玻璃光栅尺,以适应广泛的测量场景。
精度是衡量光栅系统性能的关键指标。对于金属光栅尺,系统保证了±5微米/米的精度,而直线玻璃光栅尺则可以实现±1微米的高精度(标准配置下为±1.5微米到±5微米)。圆形光栅尺的精度则达到了±2.1弧秒,确保了在旋转测量时的准确无误。
该系统不仅在硬件设计上追求极致,还强调了智能化和易用性。读数头的厚度仅为8.2毫米,能够在狭小空间内安装,同时支持高速运行,最高可达5米/秒(在0.1微米分辨率条件下)。通过内置的智能编程功能,用户可以在操作过程中动态调整分辨率,增强了灵活性。低能耗和低发热量的设计则确保了长时间稳定工作。
为了提高系统适应性和可靠性,GSI Mercury II 6000系列提供了一系列辅助功能,如双向光学零位可重复使用,1LSB的精度保持,以及粘贴式光学限位。连接器上的LED指示灯直观地显示系统状态,简化了故障排查。软件方面,SmartPrecisionII工具提供了一整套设置、编程、监控和诊断的解决方案,进一步提升了用户体验。
此外,GSI Mercury II 6000系列还考虑到了用户对定制的需求,支持长达30米的金属光栅尺和不同长度或直径的玻璃光栅尺。所有这些特性结合在一起,使得GSI Mercury II 6000系列成为高精度、高效率和高可靠性的综合测量解决方案。
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