第 42 卷 第 6 期
2015 年 6 月
Vol. 42, No. 6
June, 2015
中 国 激 光
CHINESE JOURNAL OF LASERS
0602007-
主动冷却式一维变形镜技术研究
李国会
1,2
卢 飞
1,2
徐宏来
1,2
向汝建
1,2
何忠武
1,2
吴 晶
1,2
胡 平
1,2
罗亦耕
1,2
杜应磊
1,2
1
中国工程物理研究院应用电子学研究所, 四川 绵阳 621900
2
中国工程物理研究院物院高能激光科学与技术重点实验室, 四川 绵阳 621900
摘要 根据高 能 固体板条主振 荡 功 率放大(MOPA)激 光放大器系统输 出 矩形光束在增 益 介 质长度方向波 前 畸变的
特点 ,针对性地 研制了在 一维方向上进行 波前畸变校正的新型波前 校正器,即一维变形 镜(DM1D)。通 过仿真模型
对镜面厚度及粘接面形 状等技术参数进行优化,设计了一个具有 11 通道的主动冷却型一 维变形镜,全口 径静态面
形峰谷(PV)值为 0.17 μm,校正动态范围不小于 5 μm。采用主动冷却技术,使镜面在 8 kW/cm
2
功率密度激光长时间
照射 情况下温升小于 1 ℃,保 持了强光作用下 镜面面形 的稳定性。在闭 环校正试验中,光束 质量β因子均 值从 8.82
提高至 4.38,有效地校正了光束波前畸变,验证了该一维变形镜在 MOPA 激光系统中的实用性。
关键词 光学器件; 主振荡功率放大; 波前畸变; 变形镜; 光束质量
中图分类号 TN248.1 文献标识码 A
doi: 10.3788/CJL201542.0602007
Research on the One-Dimension Deformable Mirror with Active
Cooling System
Li Guohui
1,2
Lu Fei
1,2
Xu Honglai
1,2
Xiang Rujian
1,2
He Zhongwu
1,2
Wu Jing
1,2
Hu Ping
1,2
Luo Yigen
1,2
Du Yinglei
1,2
1
Institute of Applied Electronics, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, Sichuan 621900, China
2
Key Laboratory of Science and Technology on High Energy Laser, China Academy of Engineering Physics,
Mianyang, Sichuan 621900, China
Abstract According to aberration characteristic in length direction of rectangle beam from a master oscillator
power-amplifier (MOPA) slab solid system, a new type of wavefront corrector named one-dimension deformable
mirror (DM1D) with actuators arranged in one direction is developed. The key parameters such as the thickness
of the reflecting mirror, the shape of the cementation face are analyzed and optimized by simulations. The surface
of the DM1D is driven by 11 piezoelectric actuators, whose static peak to calley (PV) distance is less than 0.17 mm
and which can provide an effective dynamic correcting range more than 5 mm. With activity refrigerating design,
the temperature rise of mirror surface can be controled within 1 ℃, which is caused by the input high power laser
with the power density of 8 kW/cm
2
in long time. The beam quality factor
β
of the output laser beam can be reduced
from 8.82 to 4.38 by DM1D in closed loop experiment, proving that the aberration is effectively compensated. The
correcting capability and practicability of the DM1D are verified in more experiments.
Key words optical divice; master oscillator power-amplifier; wavefront distortion; deformable-mirror; beam
quality
OCIS codes 230.2035; 130.7405; 140.3320
收稿日期: 2014-12-10; 收到修改稿日期: 2015-01-07
基金项目: 中国工程物理研究院高能激光科学与技术重点实验室基金
作者简介: 李国会(1977—),男,高级工程师,主要从事主动光学控制技术方面的研究。E-mail: hitliguohui@163.com
1 引 言
变形镜是自适应光学系统中的关键器件之一
[1]
,其镜面面形随驱动器伸缩发生形变,改变入射光的波前相
位,校正波前畸变,从而提高光束质量,在激光大气传输、天文观测等自适应光学领域得到了广泛的应用
[2-6]
。
在国 内 ,有 为数 不 多的几 家 单位具 有 自适应 光 学系 统 中 变形 镜 的研制 能 力。中 国 科学 院 光 电技 术 研究所
1