硫醇-烯微光学元件：低成本低收缩紫外压印工艺

本文主要探讨了"基于硫醇-烯的微光学元件低收缩紫外压印工艺"这一创新技术。由刘楠、金鹏和谭久彬三位研究人员主导的研究，他们利用国家自然科学基金等多个项目的资金支持，聚焦于微细加工技术、纳米压印技术等领域。在微光学元件的制造过程中，传统的紫外压印技术常受到光刻胶固化收缩问题的困扰，这会严重影响加工精度。硫醇-烯类材料的独特性质成为解决这一问题的关键，其固化凝胶点滞后特性使得应力能迅速松弛，从而显著减小了由于固化收缩引起的加工误差。 研究者们将硫醇-烯材料应用于紫外压印工艺中，尤其是针对连续浮雕结构的微光学元件复制，以降低固化收缩对加工精度的影响。尽管这些材料的固化收缩率高达13%，但他们通过优化工艺，实现了加工结果的收缩误差控制在2%以下，显示出显著的优势。此外，反应离子刻蚀实验进一步证实了硫醇-烯材料能够有效地实现连续浮雕结构的等比例图形传递，确保了微光学元件的精确复制。 这项研究对于降低微光学元件的生产成本，提高加工效率和分辨率具有重要意义，特别是在石英玻璃基底上的加工，具有广泛的工业应用潜力。通过这种基于硫醇-烯的紫外压印工艺，微光学元件的制造技术得到了突破性的发展，为微电子和光电子领域提供了新的制造路径。论文的发表不仅标志着这一原创研究成果的发布，也为后续的微光学元件设计和制造技术提供了宝贵的经验和参考。 总结来说，硫醇-烯与紫外压印技术的结合展示了在微光学元件制造中的强大潜力，其低收缩特性、高效率和高分辨率的特点使其在未来的微电子和光学器件制造中占据重要地位。