时变多目标优化：半导体晶圆制造系统的生产调度研究

"半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化研究" 半导体晶圆制造系统(SWFS)是集成电路生产的核心环节，涉及大规模、高成本和复杂工艺流程。随着技术的发展，SWFS的自动化水平不断提高，对生产调度的优化需求也随之增加。时变多目标生产调度是指在调度过程中，不仅要考虑多个相互冲突的目标，如提高设备利用率、缩短生产周期、降低在制品库存以及确保按时交货等，而且这些目标的重要性会随时间变化，例如在月初和月末可能有不同的优先级。 本文作者李衍飞和江志斌提出了一种基于模糊控制理论和模拟退火算法的解决方案，旨在处理SWFS中的时变多目标生产调度问题。模糊控制允许在不确定性和模糊性环境下进行决策，模拟退火算法则是一种全局优化技术，能够有效地搜索复杂问题的最优解，避免陷入局部最优。 通过大量仿真实验，这种方法被证明能够在解决速度和优化质量之间找到平衡，实现全局优化效果。这为实际的SWFS生产控制和调度提供了有力的策略和工具，有助于晶圆制造企业在快速变化的市场环境中提升竞争力。 关键词所涵盖的领域包括半导体晶圆制造系统、时变多目标调度、生产计划与调度、模糊控制和模拟退火法。在实际应用中，半导体制造企业可以利用这些理论和技术，动态调整生产策略，以应对市场需求的变化，提高生产效率，减少浪费，并确保客户满意度。 现有的调度算法通常在单一目标上表现出色，但在处理多目标优化时可能会出现矛盾。而文中提出的算法则试图解决这一难题，尤其是在考虑时间变量对目标优先级的影响时，提供了一个更为全面和灵活的调度框架。尽管已有如Adexa公司的RTD和PP系统等先进工具，但它们并未专门针对SWFS调度的时变特性提出解决方案。因此，本文的研究成果对于推动半导体制造行业的调度理论和实践具有重要意义。