Tanner软件在声学MEMS设计中的应用与优势

“1-声学MEMS设计工具Tanner软件及应用.pdf” 本文将深入探讨声学MEMS（微机电系统）设计中的关键工具——Tanner软件，它在MEMS硅麦（硅基麦克风）设计中的应用以及其独特优势。Tanner软件是由Mentor, A Siemens Business提供的专业MEMS设计平台，对于复杂几何形状的处理和精确仿真具有显著优势。 首先，我们以广泛应用于消费电子设备的Knowles麦克风为例，介绍MEMS麦克风的基本结构和工作原理。MEMS麦克风利用微小的机械结构对声音进行物理感应，并转化为电信号。在设计过程中，Tanner MEMS工具提供了全面的解决方案，包括结构设计、静电分析和协同仿真。 Tanner MEMS简介：该软件包包含了用于MEMS设计的多个模块，如L-Edit用于版图设计，S-Edit用于电路模拟，以及W-Edit用于三维建模。这些工具共同构成了一个强大的集成环境，支持从概念设计到最终GDSII输出的完整流程。 在静电结构设计方面，Tanner软件特别适用于设计可调谐滤波器等复杂器件。MEMS设计中的许多结构往往包含曲线和非直角形状，例如环形结构，这些在传统的ICEDA工具中难以处理。而L-Edit，作为Tanner的一部分，能够处理任意角度的版图，无论是复杂多边形还是曲线结构，都得以轻松应对。这种灵活性使得设计师可以快速创建和修改设计，而不受制于“曼哈顿风格”的几何限制。 在协同仿真的环节，Tanner软件允许在同一个环境中分析设计，确保了设计的准确性和一致性。例如，L-Edit不仅可以分析设计，还可以直接交付进行光罩制作，大大缩短了从概念设计到生产制造的时间。参数驱动的设计功能使用户能够高效地创建各种形状，特别是基于圆形、扇形和环形的基础组件，显著提高了设计效率。 Tanner软件以其强大的设计和仿真能力，成为声学MEMS硅麦以及其他复杂MEMS器件开发的首选工具。通过提供精确的版图编辑、高效的仿真以及无缝的流程集成，Tanner极大地推动了MEMS技术在音频设备和其他领域中的创新应用。