
书书书
第
36
卷
中
国
激
光
光学前沿———光电技术
2009
年
12
月
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专
刊
文章编号:
02587025
(
2009
)
Su
pp
lement2023107
基于激光散斑和神经网络的表面粗糙度测量
徐晓梅
胡
泓
(哈尔滨工业大学深圳研究生院,广东 深圳
518055
)
摘要
为实现表面粗糙度的非接触、快速测量,提出了一 种基 于 激光 散斑 和 径向 基神 经 网络 的表 面 粗糙 度测 量 方
法,通过实验验证了方法的有效性,并且分析了测量结果的主要影响因素。借助图 像处理 技术,从采 集的散 斑图 像
中提取了
4
个与表面粗糙度密切相关的特征 向量———对比 度、暗 区比、灰 度分 布 和二 值特 征。以 这
4
个 特征 向量
作为神经网络的输入
,利用径向基神经网络的自组织、自学习和记忆等特性,用一定 数量 的样本 对神 经网络 进行 了
学习训练
,然后用训练好的神经网络完成了
4
个不 同粗 糙度 等 级的 平磨 样 块的 测量 实 验。结果 表 明,该 测 量方 法
能够准确实现表面粗糙度的分类测量,并且具有非 接 触、测 量速 度 快、准 确率 较 高等 特点,而 影响 因 素的 分析 对 深
入研究有一定的参考作用。
关键词
测量;激光散斑;神经网络;表面粗糙度;图像处理
中图分类号
TH741
文献标识码
A
犱狅犻
:
10.3788
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基金项目:深圳市科技与信息局非共识技术创新计划资助项目。
作者简介:徐晓梅(
1980
—),女,博士研究生,主要从事光机电一体化测量方面的研究。
Email
:
xuxiaomeihit
@
g
mail.com
导师简介:胡
泓(
1965
—),男,博士,教授,主要从事机电 一体化系统、智能 系统、传感器、精密仪 器、线 性与非线性 控制系
统理论及微机电系统
(
MEMS
)等方面的研究。
Email
:
hon
g
hu
@
hit.edu.cn
1
引
言
表面粗糙度是机械加工中描述表面微观形貌最
常用的参数,它反映的是机械零件表面的微观几何
形状误差。表面粗糙度评估对很多基础问题都很重
要
,因此几十年来一 直 是实验和 理 论研究的 重 要课
题之一。随着表面 粗糙度在 更 多科技领 域,如 电 视
通信、半导体、集成 电路、精密工程 和 生物医学 等 领
域内的应用需求的 增加和重 要 性的日益 显 现,表 面
粗糙度测量方法的更新和提高成为迫在眉睫需要解
决的问题
。表面粗 糙度测量 方 法有很多,按照测量
原理的不同,大致可分为接触式测量方法、光学测量
方法和非光学式扫 描显微镜 方 法三类,其中尤 以 光
学测量方法的研究 最为广泛,主要包括 基 于光干涉
的 干 涉 测 量 法
[
1
~
5
]
和 基 于 光 散 射 原 理 的 散 射 测 量
法
[
6
~
8
]
及散斑测量法
[
9
,
10
]
等。
自从 激光问世以 来,由相干激光 产生的散斑 受