SEMI标准下的Block-HSMS逻辑传输详解
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更新于2024-08-14
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"本文主要讲解逻辑传输单位Block在HSMS( Semiconductor Equipment Message Standard,半导体设备消息标准)格式中的应用,同时涉及SEMI(国际半导体设备与材料产业协会)的相关标准,如SECS(半导体设备通信标准)及其不同版本,包括SECSI、SECSII、GEM和HSMS。"
在半导体设备自动化领域,SEMI制定了一系列标准以促进设备间的通信。SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard)是其中的关键标准,它定义了半导体工艺设备与主机之间的消息通信接口。SECS包括不同的版本,如SECSI(E4)、SECSII(E5)、GEM(E30)以及HSMS(E37)。这些标准涵盖了物理连接、信号电平、传输速率以及消息交换的逻辑协议。
SECSI是最初的SECS版本,它使用9针或25针的物理连接器,9600bps的传输速率,并通过RS232进行通信。其逻辑传输单位是基于10位的,其中0和9位是起始和结束信号,1至8位则是实际数据。
SECSII(E5)引入了更复杂的逻辑传输单位——Block。Block由多个部分组成,包括Receive EOT(接收结束标记,1字节)、Block长度(10至254字节,指示Block的实际大小)、Block数据(最多244字节)以及Checksum(校验码,2字节)。在传输过程中,首先发送Block长度,然后是Block数据,最后是用于验证数据完整性的Checksum。
Block结构中的Header部分提供了关于传输消息的信息,如设备ID、消息ID和块编号等。Header的具体格式在SECSII(E5)中定义,包括Upper Device ID、System Byte、Lower Device ID、Upper Message ID、Lower Message ID、Upper Block No.、Lower Block No.以及两个System Byte。这些字段用于标识发送方和接收方,以及消息的序列和类型。
其中,R、W和E三个标志位分别表示读取(Read)、写入(Write)和应答(Event)操作。例如,当R位为0时,表示主机到设备的通信;当R位为1时,表示设备到主机的通信。同样,W和E位也分别指示了写请求和事件通知。
HSMS(E37)是SECSII的一个扩展,特别针对高速通信需求,通常使用TCP/IP协议,允许在10Mbps的速度下传输数据,显著提高了设备间通信的效率。
总结来说,Block作为SECSII中的逻辑传输单位,是实现半导体设备自动化通信的关键元素,它确保了数据的正确传输和校验,是高效、可靠的设备间交互的基础。理解并掌握Block格式和HSMS协议对于设计和实现半导体生产设备的自动化控制至关重要。
2023-03-05 上传
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