ZB761：计算机辅助制版语言在大规模集成电路中的应用

"ZB761是一种专用于大规模集成电路光刻掩膜生产的计算机辅助制版语言，由电子工程系的蔡大用和洪先龙等人设计。此语言旨在简化制版过程，提高效率和质量，并减少人工劳动强度。ZB-761语言结构直观，不涉及复杂的语法公式，其编译程序流程图在文中被简要介绍，而详细的形式语法公式则在附录给出。该语言的编译程序已在国产DJS-130计算机上实现，需要特定硬件支持，如内存、输入机、凿孔机、电传打字机等。此外，它还可以配合其他外部设备如打印机和显示器使用。ZB-761在1976年完成，已成功应用于多个集成电路产品的掩膜制版，包括8192位MOS只读存贮器等。源语言结构包含说明型语句串、大区程序段序列、整图程序段序列和操作语句串等部分，其中说明型语句用于定义工艺参数和图形库等信息。" ZB-761是为了解决大规模集成电路生产中的制版问题而设计的专用语言。在集成电路生产中，为了提高效率和质量，通常需要通过计算机控制的设备来生成光刻掩膜，这就需要一种能够描述图形和控制指令的语言。ZB-761就是为此目的而创建的，它的设计目标是简化制版过程，减少错误，以及减轻制版工程师的工作负担。 语言的核心是源语言结构，它分为四个主要部分：说明型语句串，大区程序段序列，整图程序段序列和操作语句串。说明型语句串用于设定工艺参数，比如金属线宽度和套刻精度，这些参数可以根据具体工艺需求进行调整。大区程序段序列和整图程序段序列则用于描述掩膜的图形布局和细节。操作语句串包含了控制掩膜制作过程的指令。 ZB-761的编译程序运行在DJS-130计算机上，对硬件配置有一定的要求，如16Kx16的内存以及输入输出设备。编译程序不仅将源代码转化为机器可执行的指令，还允许用户通过各种外部设备（如打印机和显示器）与系统交互。这一系统的应用已经证明了其在实际生产中的有效性和灵活性，成功应用于不同类型的集成电路产品制造。 ZB-761的成功研发和应用标志着计算机辅助制版技术在集成电路行业的进步，为后续的电路设计和制造提供了强大的工具，同时也为后续的计算机辅助设计(CAD)系统奠定了基础。通过这种专业化的语言，工程师们能够更高效地设计和生产复杂的集成电路，推动了半导体工业的发展。