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LJ-V7000系列超高速轮廓测量仪中文手册
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更新于2024-07-23
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"Keyence最新版中文版说明书120828"
Keyence的LJ-V7000是一款超高速轮廓测量仪,专为精确的工业检测和质量控制设计。这款设备提供了从安装到测量的全套解决方案,适用于各种复杂的测量任务。用户手册详细涵盖了设备的各个方面,旨在帮助用户安全、有效地使用该仪器。
1. 安装设备:在开始使用LJ-V7000之前,必须按照手册中的指示正确安装。这包括确保设备放置在稳定的工作平台上,并且所有连接线缆都已正确连接。
2. 流程与基本操作:手册详细描述了从设定到测量的完整流程,包括如何启动设备、校准、选择测量对象和执行测量。
3. 设定编辑方法与程序操作:用户可以学习如何定制测量程序,设置不同的测量参数,以适应不同工件的测量需求。
4. 拍摄条件设定:这部分内容指导用户调整相机的曝光时间、分辨率等参数,以获取最佳的图像质量。
5. 测量处理条件设定:涉及设置测量速度、精度和分析方法,确保测量结果的准确性。
6. 端子输出条件、存储器条件设定:用户可以设定数据输出的方式,例如通过哪种接口传输数据,以及如何存储测量结果。
7. 测量结果确认:手册教导用户如何查看和分析测量数据,包括读取数值、查看图形以及理解测量报告。
8. 测量公共设定和系统设定:提供通用的设备设置选项,如语言、日期和时间,以及更高级的系统参数调整。
9. 通信接口和输入输出端子:介绍了LJ-V7000支持的各种通信协议和连接方式,以便与其他设备集成。
10. 故障排除和错误提示消息:当设备遇到问题时,用户可以参考这部分内容,根据错误代码找到解决办法。
11. 符号和注意事项:手册中使用不同的符号标记重要信息和警告,以提高用户对安全事项的关注。此外,还强调了使用设备时的注意事项,如避免在防爆环境中使用,以及不要让设备经历剧烈的温度变化。
12. 脉冲波形图和响应时间:这部分内容可能涉及到LJ-V7000的光源和传感器性能,有助于理解设备的响应特性。
13. 规格、外形尺寸图、特性:提供了设备的具体技术规格,包括物理尺寸、测量范围、精度等信息,便于用户在实际应用中规划空间和评估适用性。
在使用LJ-V7000超高速轮廓测量仪时,用户应严格遵循手册中的指导,以确保操作安全,避免对设备和操作者造成伤害。同时,注意定期更新设备软件和固件,以保持其最佳性能。如果遇到手册中未涵盖的问题,应及时联系Keyence的销售服务部门寻求帮助。
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- LJ-V7000 系列 用户手册 -
目录
设定测量内容(OUT 测量设定) ..........................6-22
什么是 OUT 测量设定 ................................................ 6-22
测量设定的流程 ........................................................6-22
什么是测量设定 ..................................................... 6-22
测量对象区域 ............................................................6-22
测量对象 ....................................................................6-23
测量模式 ....................................................................6-27
测量模式的测量示意图 ............................................6-28
简易 3D 测量模式 .....................................................6-30
什么是处理设定 ..................................................... 6-31
测量值保持处理 ........................................................6-31
测量值过滤器 ............................................................6-31
缩放处理 ....................................................................6-31
补偿处理 ....................................................................6-31
自动归零基准值 ........................................................6-32
计测模式 ....................................................................6-32
计测范围 ....................................................................6-32
公差 ............................................................................6-32
端子分配 ....................................................................6-32
开始 OUT 测量设定 .................................................... 6-33
设定测量设定的内容 .................................................. 6-34
设定测量模式详细 ................................................. 6-35
高度 ............................................................................6-36
高度差 ........................................................................6-37
位置 ............................................................................6-39
宽度 ............................................................................6-40
中心位置 ....................................................................6-42
距离(点-点) ..........................................................6-43
距离(点-直线) ......................................................6-45
主控比较(Z) ...........................................................6-46
R 测量 ........................................................................6-47
厚度 ............................................................................6-48
角度(从水平起的角度) ..........................................6-49
角度(2 直线间的角度) ...........................................6-50
截面面积(1 直线基准) ...........................................6-52
截面面积(2 直线基准) ...........................................6-53
截面面积(主控基准) ..............................................6-55
振动宽度 ....................................................................6-56
计算 ............................................................................6-57
高度(简易 3D 设定) ...............................................6-58
高度差(简易 3D 设定) ...........................................6-59
位置(简易 3D 设定) ...............................................6-60
设定测量对象区域和测量对象详细 ..................... 6-62
基本操作 ....................................................................6-63
平均 ............................................................................6-63
边缘 ............................................................................6-64
峰值 ............................................................................6-64
谷值 ............................................................................6-65
弯曲点 ........................................................................6-65
交点(直线-直线) ..................................................6-66
切点(直线-圆弧) ..................................................6-67
圆中心 ........................................................................6-68
最大厚度 ....................................................................6-68
最小厚度 ....................................................................6-69
平均厚度 ....................................................................6-69
最大厚度位置 ............................................................6-70
最小厚度位置 ............................................................6-70
角度 ............................................................................6-71
R 测量 ........................................................................6-71
截面面积 ....................................................................6-72
中间值 ........................................................................6-72
P-P(Z) .....................................................................6-73
P-P(X) .....................................................................6-73
简易 3D 设定 :平均 .................................................6-74
简易 3D 设定 :峰值 .................................................6-74
简易 3D 设定 :谷值 .................................................6-75
简易 3D 设定 :P-P ...................................................6-75
设定处理设定的内容 .................................................. 6-76
第 7 章 设定端子输出条件、存储器条件
端子输出、存储器设定的设定项目 .......................7-2
端子输出设定 ...........................................................7-3
什么是端子输出设定 .................................................... 7-3
判断输出 ......................................................................7-3
模拟输出 ......................................................................7-3
设定端子输出 ................................................................ 7-4
存储器设定 ...............................................................7-7
什么是存储器 ................................................................ 7-7
存储器对象 ..................................................................7-7
存储器条件 ..................................................................7-7
设定存储器对象和条件 ................................................ 7-8
第 8 章 确认测量结果
测量画面的概要与切换 ...........................................8-2
测量画面的概要 ............................................................ 8-2
[显示轮廓]画面 ........................................................8-2
[显示高度图像]画面 ................................................8-2
[数值画面]/[显示测量值]画面...........................8-2
[显示趋势图]画面 ....................................................8-2
[显示端子动作]画面 ................................................8-2
[数据存储器]画面 ....................................................8-2
[轮廓存储器]画面 ....................................................8-2
[批处理轮廓存储器]画面 ........................................8-2
[显示机器信息]画面 ................................................8-2
查看设定画面 ..............................................................8-2
切换画面 ........................................................................ 8-3
切换监控器的画面 ......................................................8-3
切换触摸屏监控器的画面 ..........................................8-3
显示查看设定画面 ......................................................8-3
切换 LJ-Navigator2 的画面 ........................................8-3
[显示轮廓]画面 .....................................................8-4
[显示轮廓]画面的内容 .............................................. 8-4
[显示轮廓]画面的显示设定
(设定显示死角数据的方法) ........................................ 8-5
监控器 / 触摸屏监控器...............................................8-5
LJ-Navigator2 ..............................................................8-5
[显示高度图像]画面 .............................................8-6
[显示高度图像]画面的内容 ...................................... 8-6
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- LJ-V7000 系列 用户手册 -
目录
[显示高度图像]画面的显示设定
(高度图像显示设定) .................................................... 8-7
监控器 / 触摸屏监控器...............................................8-7
LJ-Navigator2 ..............................................................8-8
在 2D 显示中确认 ......................................................... 8-8
监控器 / 触摸屏监控器...............................................8-8
LJ-Navigator2 ..............................................................8-9
在 3D 显示中确认(仅 LJ-Navigator2 显示) .............. 8-9
3D 显示的内容和操作 ................................................ 8-10
3D 显示的内容 ..........................................................8-10
操作 3D 工具栏 .........................................................8-10
[显示 3D 轮廓]画面的显示设定 ..............................8-11
[数值画面]/[显示测量值]画面 ......................8-12
[数值画面]/[显示测量值]画面的内容 ............... 8-12
[数值画面]/[显示测量值]画面显示设定
(选择显示的 OUT) ..................................................... 8-14
监控器 / 触摸屏监控器.............................................8-14
LJ-Navigator2 ............................................................8-14
[显示趋势图]画面 ...............................................8-15
[显示趋势图]画面的内容 ........................................ 8-15
[显示端子动作]画面 ...........................................8-17
[显示端子动作]画面的内容 .................................... 8-17
端子动作的显示设定 .................................................. 8-18
搜索端子动作 .............................................................. 8-18
[数据存储器]画面 ...............................................8-19
[数据存储器]画面的内容 ........................................ 8-19
[轮廓存储器]画面 ...............................................8-20
[轮廓存储器]画面的内容 ........................................ 8-20
[批处理轮廓存储器]画面 ...................................8-22
[批处理轮廓存储器]画面的内容 ............................ 8-22
[显示机器信息]画面 ...........................................8-24
[显示机器信息]画面的内容 .................................... 8-24
备份 / 恢复监控数据 ..............................................8-26
备份监控数据 .............................................................. 8-26
恢复监控数据 .............................................................. 8-26
测量中可用的功能 .................................................8-27
切换程序 ...................................................................... 8-27
监控器 / 触摸屏监控器.............................................8-27
LJ-Navigator2 ............................................................8-27
在任意计时输入触发 .................................................. 8-28
控制台 ........................................................................8-28
监控器 / 触摸屏监控器的[TRG]按钮.................8-28
LJ-Navigator2 的[输入触发]按钮 .......................8-28
外部输入端子 ............................................................8-28
通信命令 ....................................................................8-28
在任意计时输入 TIMING .......................................... 8-29
监控器 / 触摸屏监控器的
[TIM1]按钮或者[TIM2]按钮 ...........................8-29
LJ-Navigator2 的
[TIM1]按钮或者[TIM2]按钮 ...........................8-29
外部输入端子 ............................................................8-29
通信命令 ....................................................................8-29
在任意计时输入 ZERO(自动归零功能) ................ 8-30
监控器 / 触摸屏监控器的
[ZERO1]按钮或者[ZERO2]按钮 .....................8-30
LJ-Navigator2 的
[ZERO1]按钮或者[ZERO2]按钮 .....................8-30
外部输入端子 ............................................................8-30
通信命令 ....................................................................8-30
重置测量值 .................................................................. 8-31
监控器 / 触摸屏监控器的
[RESET1]按钮或者[RESET2]按钮 .................8-31
LJ-Navigator2 的
[RESET1]按钮或者[RESET2]按钮 .................8-31
外部输入端子 ............................................................8-31
通信命令 ....................................................................8-31
开始、停止批处理测量 .............................................. 8-32
监控器 / 触摸屏监控器的
[START]、[STOP]按钮 ........................................8-32
LJ-Navigator2 的
[开始批处理]、[结束批处理]按钮 ......................8-32
外部输入端子 ............................................................8-32
通信命令 ....................................................................8-32
清除内存 ...................................................................... 8-33
监控器 / 触摸屏监控器的[CLEAR]按钮 ...........8-33
LJ-Navigator2 的[清除内存]按钮 .......................8-33
外部输入端子 ............................................................8-33
第 9 章 测量公共设定
测量公共设定的设定项目 .......................................9-2
设定测量公共设定 ...................................................9-3
什么是测量公共设定 .................................................... 9-3
动作模式 ......................................................................9-3
传感头信息 ..................................................................9-4
内存设定 ......................................................................9-5
设定端子 ......................................................................9-5
其他 ..............................................................................9-5
设定测量公共设定(高功能模式) .............................. 9-6
设定测量公共设定(高速模式) .................................. 9-8
第 10 章 系统设定
控制器的系统设定 .................................................10-2
显示控制器的系统设定画面 ...................................... 10-2
LJ-Navigator2 ............................................................10-2
监控器 / 触摸屏监控器.............................................10-2
切换与 LJ-Navigator2 连接的控制器......................... 10-3
设定机器名称 / 通信规格 ........................................... 10-4
LJ-Navigator2 ............................................................10-5
监控器 / 触摸屏监控器.............................................10-6
设定控制器的日期 / 时间 ........................................... 10-6
LJ-Navigator2 ............................................................10-6
监控器 / 触摸屏监控器.............................................10-7
监控器 / 触摸屏监控器的系统设定 ......................10-8
切换监控器的语言 ...................................................... 10-8
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- LJ-V7000 系列 用户手册 -
目录
校准触摸屏 .................................................................. 10-9
把控制台的 ZERO 键设为无效 ............................... 10-10
LJ-Navigator2 的系统设定 ...................................10-11
可用的通信设定 .........................................................10-11
显示 PC 通信设定画面 ..............................................10-11
选择 USB 通信 .......................................................... 10-12
选择 Ethernet 通信 .................................................... 10-12
切换显示语言 ............................................................ 10-14
第 11 章 通信接口和输入输出端子
可使用的输入输出接口 ......................................... 11-2
Ethernet 接口 .......................................................... 11-3
基本规格、连接器规格 ...............................................11-3
USB 接口 ................................................................ 11-4
基本规格、连接器规格 ...............................................11-4
RS-232C 接口 ......................................................... 11-5
通信规格 .......................................................................11-5
连接器规格 ...................................................................11-5
连接 PLC 连接单元/计算机 .....................................11-6
通过命令输出测量值和更改设定 ...............................11-7
命令的种类 ................................................................11-7
命令格式 ....................................................................11-7
输入输出端子 ......................................................... 11-8
输入端子台 1 ................................................................11-8
输入端子台 2 ..............................................................11-10
编码器信号输入端子台 .............................................11-12
输出端子台 1 ..............................................................11-13
输出端子台 2 ..............................................................11-14
模拟电压输出端子台 .................................................11-15
24 V 电源端子台 ........................................................11-16
输入输出电路 .............................................................11-17
LJ-V7001(NPN 型) ..............................................11-17
LJ-V7001P(PNP 型) .............................................11-18
LJ-V7001/LJ-V7001P 公共 .....................................11-19
编码器输入 .................................................................11-20
第 12 章 脉冲波形图和响应时间
编码器触发 .............................................................12-2
编码器触发的输入模式 .............................................. 12-2
1 相 1 递增(无朝向) ...............................................12-2
2 相 1 递增 .................................................................12-2
2 相 2 递增 .................................................................12-2
2 相 4 递增 .................................................................12-3
编码器输入频率 .......................................................... 12-3
脉冲波形图(高速模式) .......................................12-4
脉冲波形图(高速模式)一览 .................................. 12-4
并列拍摄 OFF、连续触发 ......................................... 12-5
[批处理测量]:OFF、[压缩(时间轴)]:OFF ...12-5
[批处理测量]:OFF、[压缩(时间轴)]:ON.....12-5
[批处理测量]:ON、[压缩(时间轴)]:OFF.....12-6
[批处理测量]:ON、[压缩(时间轴)]:ON ......12-6
并列拍摄 OFF、外部触发 / 编码器触发 .................. 12-7
[批处理测量]:OFF、[压缩(时间轴)]:OFF
外部触发时 ................................................................12-7
[批处理测量]:OFF、[压缩(时间轴)]:OFF
编码器触发时 ............................................................12-8
[批处理测量]:OFF、[压缩(时间轴)]:ON
外部触发 / 编码器触发时.........................................12-9
[批处理测量]:ON、[压缩(时间轴)]:OFF
外部触发 / 编码器触发时.......................................12-10
[批处理测量]:ON、[压缩(时间轴)]:ON
外部触发 / 编码器触发时.......................................12-11
并列拍摄 ON、连续触发 ......................................... 12-12
[批处理测量]:OFF、
[压缩(时间轴)]:OFF ..
12-12
[批处理测量]:OFF、
[压缩(时间轴)]:ON ...
12-12
[批处理测量]:ON、[压缩(时间轴)]:OFF...12-13
[批处理测量]:ON、[压缩(时间轴)]:ON ....12-13
并列拍摄 ON、外部触发 / 编码器触发 .................. 12-14
[批处理测量]:OFF、[压缩(时间轴)]:OFF
外部触发 / 编码器触发时.......................................12-14
[批处理测量]:OFF、[压缩(时间轴)]:ON
外部触发 / 编码器触发时.......................................12-15
[批处理测量]:ON、[压缩(时间轴)]:OFF
外部触发 / 编码器触发时.......................................12-16
[批处理测量]:ON、[压缩(时间轴)]:ON
外部触发 / 编码器触发时.......................................12-17
脉冲波形图(高功能模式) .................................12-18
脉冲波形图(高功能模式)一览 ............................ 12-18
计测模式的概要(批处理测量 OFF) ..................... 12-19
[批处理测量]:OFF ..............................................12-19
计测模式的概要(批处理测量 ON) ....................... 12-24
[批处理测量]:ON、[压缩(时间轴)]:OFF...12-24
[批处理测量]:ON、[压缩(时间轴)]:ON ....12-27
连续触发 .................................................................... 12-28
概要 ..........................................................................12-28
[批处理测量]:OFF、[压缩(时间轴)]:OFF .12-29
OUT 测量值(计测模式 :标准) ..........................12-30
OUT 测量值(计测模式 :峰值保持、谷值保持、
峰值至峰值保持、平均值保持、样本保持) ........12-32
[批处理测量]:OFF、[压缩(时间轴)]:ON...12-33
[批处理测量]:ON、[压缩(时间轴)]:OFF...12-34
[批处理测量]:ON、[压缩(时间轴)]:ON ....12-36
补充 :STROBE 输出 .............................................12-38
补充 :OUT 测量处理时间较长时 ........................12-39
外部触发 / 编码器触发的概要 ................................. 12-41
概要 ..........................................................................12-41
[批处理测量]:OFF、[压缩(时间轴)]:OFF
外部触发 / 编码器触发时.......................................12-42
[批处理测量]:OFF、[压缩(时间轴)]:ON
外部触发 / 编码器触发时.......................................12-43
[批处理测量]:ON、[压缩(时间轴)]:OFF
外部触发 / 编码器触发时.......................................12-44
[批处理测量]:ON、[压缩(时间轴)]:ON
外部触发 / 编码器触发时.......................................12-45
补充 :STROBE 输出 .............................................12-46
补充 :OUT 测量处理时间较长时 ........................12-46
17
- LJ-V7000 系列 用户手册 -
目录
存储器的概要(批处理测量 OFF) ......................... 12-49
[批处理测量]:OFF、
[压缩(时间轴)]:ON/OFF 公共 ........................12-49
存储器的概要(批处理测量 ON) ........................... 12-51
[批处理测量]:ON、
[压缩(时间轴)]:ON/OFF 公共、
简易 3D 计测模式公共 ...........................................12-51
通过 STORAGE_START/STORAGE_STOP 端子
执行控制 .................................................................... 12-52
批处理测量 OFF 时 ................................................12-52
批处理测量 ON 时 ..................................................12-54
脉冲波形图(公共) .............................................12-55
激光发射控制输入 .................................................... 12-55
程序切换 .................................................................... 12-55
内存控制输入输出 .................................................... 12-56
启动时间 .................................................................... 12-56
状态表 ...................................................................12-58
第 13 章 规格、外形尺寸图、特性
规格 .........................................................................13-2
控制器的规格 .............................................................. 13-2
显示单元的规格 .......................................................... 13-3
传感头的规格 .............................................................. 13-4
测量范围 ................................................................. 13-5
LJ-V7060 ...................................................................13-5
LJ-V7060K.................................................................13-5
LJ-V7080 ...................................................................13-6
LJ-V7200 ...................................................................13-6
LJ-V7300 ...................................................................13-7
激光发射 LED 的亮灯状态 .................................... 13-7
线缆的规格 .................................................................. 13-8
LJ-H2(LJ-Navigator2)运行系统环境 .................... 13-8
外观尺寸图 .............................................................13-9
控制器 .......................................................................... 13-9
显示单元 ...................................................................... 13-9
传感头 ........................................................................ 13-10
LJ-V7060 .................................................................13-10
LJ-V7060K...............................................................13-10
LJ-V7080 .................................................................13-11
LJ-V7200 .................................................................13-12
LJ-V7300 .................................................................13-13
传感头线缆 ................................................................ 13-14
传感头延长线缆 ........................................................ 13-14
控制台 ........................................................................ 13-14
触摸屏监控器 ............................................................ 13-15
监控器支架 ................................................................ 13-15
特性 .......................................................................13-16
光点直径 .................................................................... 13-16
LJ-V7060/LJ-V7060K .............................................13-16
LJ-V7080 .................................................................13-16
LJ-V7200 .................................................................13-17
LJ-V7300 .................................................................13-17
相互干扰区域 ............................................................ 13-18
LJ-V7060/LJ-V7060K .............................................13-18
LJ-V7080 .................................................................13-18
LJ-V7200 .................................................................13-19
LJ-V7300 .................................................................13-20
附录
功能补充说明 ........................................................附 -2
编码器触发的输入模式 ............................................. 附 -2
RS-232C 接口的命令 ............................................附 -4
命令格式 ..................................................................... 附 -4
接收命令格式 ........................................................ 附 -4
回复命令格式 ........................................................ 附 -4
错误时回复命令格式 ............................................ 附 -4
测量值的格式
(
f
f
f
f
f
f
f
f
) ...
附 -5
设定值的格式
(
s
s
s
s
s
s
s
s
) ...
附 -5
ASCII 编码表 ............................................................. 附 -6
测量控制命令一览 ..................................................... 附 -7
测量控制命令详细 ..................................................... 附 -8
触发 ........................................................................ 附 -8
开始批处理 ............................................................ 附 -8
停止批处理 ............................................................ 附 -8
自动归零(单一 OUT) ......................................... 附 -9
自动归零(复数 OUT) ......................................... 附 -9
自动归零(全部 OUT) ......................................... 附 -9
计时(单一 OUT) ................................................. 附 -9
计时(复数 OUT) ............................................... 附 -10
计时(全部 OUT) ............................................... 附 -10
重置(单一 OUT) ............................................... 附 -10
重置(复数 OUT) ............................................... 附 -10
重置(全部 OUT) ............................................... 附 -10
测量值输出(单一 OUT) ....................................附 -11
测量值输出(复数 OUT) ....................................附 -11
测量值输出(全部 OUT) ....................................附 -11
设定控制命令一览 ................................................... 附 -12
设定控制命令详细 ................................................... 附 -13
设定保存要求 ...................................................... 附 -13
设定保存完成确认 .............................................. 附 -13
程序初始化 .......................................................... 附 -13
程序编号读取 ...................................................... 附 -13
程序切换 .............................................................. 附 -13
设定内容更改命令一览 ........................................... 附 -14
设定内容更改命令详细 ........................................... 附 -15
测量值保持次数 .................................................. 附 -15
测量值过滤器 ...................................................... 附 -15
计测模式 .............................................................. 附 -16
缩放 ...................................................................... 附 -16
补偿值 .................................................................. 附 -17
公差 ...................................................................... 附 -17
零点基准值 .......................................................... 附 -17
设定内容确认命令一览 ........................................... 附 -18
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- LJ-V7000 系列 用户手册 -
目录
设定内容确认命令详细 ........................................... 附 -19
测量值保持次数 .................................................. 附 -19
测量值过滤器 ...................................................... 附 -19
计测模式 .............................................................. 附 -20
缩放 ...................................................................... 附 -20
补偿值 .................................................................. 附 -21
公差 ...................................................................... 附 -21
零点基准值 .......................................................... 附 -22
收发命令时的响应延迟时间 ................................... 附 -23
监控器 / 触摸屏监控器的画面转换 ...................附 -26
测量 / 设定画面的切换和程序切换的画面转换 .... 附 -28
测量公共设定的画面转换 ....................................... 附 -29
拍摄设定的画面转换 ............................................... 附 -30
拍摄设定 .............................................................. 附 -31
标准设定 .................................................................附 -31
高级设定 .................................................................附 -31
轮廓设定 .............................................................. 附 -32
标准设定 .................................................................附 -32
高级设定 .................................................................附 -32
测量设定的画面转换 ............................................... 附 -33
注册主控轮廓 ...................................................... 附 -34
位置补正设定 ...................................................... 附 -35
标准设定 .................................................................附 -35
高级设定 .................................................................附 -36
设定轮廓屏蔽 ...................................................... 附 -36
OUT 测量设定 ..................................................... 附 -37
端子 / 存储器设定的画面转换 ................................ 附 -38
错误提示消息 ......................................................附 -39
系统错误提示消息 ................................................... 附 -39
显示单元的错误提示消息 ....................................... 附 -43
故障排除 ..............................................................附 -44
不同目的的设定条件 ..........................................附 -48
基于设定项目组合的功能限制 ..........................附 -50
动作模式的设定和功能限制 .................................附 -50
并列拍摄的设定和端子的作用 .............................附 -50
传感头设置状态的设定和功能限制 .....................附 -50
批处理测量的设定和功能限制 .............................附 -50
低通和高通过滤器的可设定范围 .........................附 -51
初始值(出厂时)和设定范围 ..........................附 -52
环境设定的初始值和设定范围 ............................... 附 -52
测量公共设定的初始值和设定范围 ....................... 附 -53
拍摄设定的初始值和设定范围 ............................... 附 -54
注册主控的初始值和设定范围 ............................... 附 -56
位置补正的初始值和设定范围 ............................... 附 -56
轮廓屏蔽的初始值和设定范围 ............................... 附 -59
OUT 测量设定的初始值和设定范围 ...................... 附 -59
端子输出设定的初始值和设定范围 ....................... 附 -61
存储器设定的初始值和设定范围 ........................... 附 -62
批处理测量 OFF 时 ...............................................附 -62
批处理测量 ON 时 .................................................附 -63
索引 ......................................................................附 -64
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