伪极值法提升单频激光干涉测振系统的非线性精度补偿

本文主要探讨了单频激光干涉测振系统中的非线性误差主动补偿问题，针对提升测量精度的需求，提出了一种创新的补偿方法——基于伪极值的实时补偿策略。这种方法的关键在于利用伪极值来分析和估计两种主要的非线性误差来源：直流偏置误差和不等幅误差。通过伪极值处理，算法能够有效地捕捉这些误差变化，然后通过矢量相位校正运算来抵消非正交误差，从而减少信号轨迹的螺旋化形变。 在实际应用中，激光器功率漂移和Abbe误差（一种因光源波动引起的干涉条纹变形）是影响系统精度的主要因素。通过采用伪极值法，这些影响被有效抑制，确保了测量数据的准确性和稳定性。此外，文章还提到了数字信号传输过程中可能出现的误码问题，这种异常数据对传统方法可能造成显著影响，但伪极值法能够减小其对非线性误差补偿的负面影响。 在搭建的单频激光干涉测振系统中，使用伪极值法配合矢量相位校正技术，能显著降低周期性剩余误差的峰峰值，具体到实验结果，将其降低到了0.8纳米，这相较于传统的极值法有显著的优势。这种新型方法的优点在于操作简单，能够在实时测量过程中快速响应，确保了系统高精度和高效性。 关键词包括“测量”，“单频激光干涉测振系统”，“非线性误差补偿”，“伪极值法”以及“纳米测量”。该研究对于提高单频激光干涉测振系统的性能，特别是在精密测量和微纳级应用中，具有重要的实践价值。通过这一方法，科学家和工程师可以更好地控制和校准非线性误差，从而推动相关领域的科研和技术进步。