tsk-90A校准步骤详解：相机调整与传感器定位

本文档详细介绍了TSK-90A探针台的操作步骤，主要涉及三个关键校准步骤，确保设备精确工作并避免生产中的问题。 首先，E1 CAMERA POSITION调整是校准过程的第一步。当E1摄像头的位置不准确时，会导致探针在进行wafer对齐时无法正确测量chuck中心位置，可能导致chuck上的晶圆未找到（CHUCKEDGENOTFOUND）。用户需进入UTILITY菜单下的MAINTENANCE/ADJUSTMENT/EQUIPMENTPOSITIONADJUSTMENT/ITVCAMERAADJUSTMENT/ALIGMENTCAMERAADJUSTMENT，然后按照指示进行操作。在低倍放大下，摇杆控制十字线移动至chuck的十字标记处，通过AUTOFOCUS功能进行调整，显示E1摄像头的高度。调整时应确保在平坦无沟槽的区域操作。切换到高倍放大，十字线对准chuck中心后按下ENT键，探针会自动计算chuck边缘到中心的距离并完成校准。 接下来是PROFILE SENSOR POSITION调整，这一步骤针对探针台的传感器定位，确保其能够准确感知wafer的相关特征，这对于精确的测试和生产至关重要。 最后，E1 CAMERA高倍与低倍影像对准是为了消除因不同成像视角导致的测量误差。当低倍和高倍图像存在位置偏差时，可能导致wafer对齐错误，如找不到模型、无法测量尺寸等。在启动设备时，先将初始化设置归零，然后进行wafer对齐。进入UTILITY/Maintenance/ADJUSTMENT/ITVCAMERAADJUSTMENT/ALIGMENTCAMERAADJUSTMENT，选择一个低倍图像中的明显点作为参考，通过摇杆调整十字线并确认。切换到高倍图像时，同样进行调整，确保两个成像视角的一致性。 TSK-90A探针台的操作校准包括精细的摄像头定位、传感器位置调整以及高、低倍影像的精确对齐，这些步骤对于确保探针台的精确度和生产一致性至关重要。用户必须严格按照文档提供的步骤操作，以避免潜在的问题和提高生产效率。