优化GaN太赫兹 Gunn二极管的传输区线缺陷减少策略

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本文探讨了在1微米氮化镓(GaN)太赫兹吉姆迪ode(Gunn diode)的传输区中,沟道缺陷(threading dislocations, TDs)分布受槽型掺杂层位置的影响。研究主要关注两种结构:顶部槽型掺杂层(top-notch layer, TNL)与底部槽型掺杂层(bottom-notch layer, BNL)。通过对透射电子显微镜(Transmission Electron Microscopy, TEM)的观察,发现BNL结构相对于TNL结构更有效地减少了TDs密度,并提高了晶体质量。 在BNL结构中,生长模式经历了两次转变,从原子级台阶流动转变为逐层核化,这种转变有助于减小晶格缺陷的发生,从而优化器件性能。由于底部槽型掺杂层位于晶体生长的早期阶段,它对生长过程的控制更为精确,能够抑制缺陷的形成,从而改善Gunn diode在高频率(太赫兹频段)下的性能。 论文《Threading Dislocation Reduction in Transit Region of GaN Terahertz Gunn Diodes》发表于《应用物理 letters》(Applied Physics Letters),卷100,第7期,2012年,DOI:10.1063/1.3685468。作者包括李亮、杨林安、张晋成、薛俊帅和薛胜瑞等,提供了对新型高技术材料GaN在太赫兹领域的深入理解,对于优化半导体器件设计具有重要意义。此外,文中还引用了其他相关研究,如关于聚苯乙烯界面电荷存储的可视化、线性增益放大器、脉冲切割单元开发以及磁场效应在四联萘场效应晶体管中的应用,展示了这些研究在材料科学和电子器件工程中的交叉应用。 通过这篇研究,研究人员不仅提升了GaN基太赫兹吉姆二极管的性能,还为减少沟道缺陷在高速电子器件中的影响提供了新策略,这对推动微电子技术和高频通信技术的发展具有深远影响。未来的研究可能会进一步探索不同掺杂层设计与生长条件对GaN材料性能的综合优化,以实现更高效、更稳定的太赫兹设备。