双频激光干涉的高精度直线度基准装置达0.1μm/m级

本文主要探讨了一种创新的高精度直线度基准装置，其核心技术基于双频激光干涉和直尺反转误差分离方法。该装置将激光波长作为测量标准，旨在实现极其精确的直线度测量，特别是在一般的实验室环境下，能实现优于0.1微米每米（μm/m）的测量不确定度。这种突破性的技术对于航天质量保证体系中的国防校准实验室具有重要意义，因为它能够提供可靠的测量数据，确保关键设备的性能符合高标准。 双频激光干涉技术在此装置中扮演了关键角色，通过同时使用两个不同频率的激光光束，可以精确地检测出微小的位移变化，从而提高测量的精度和稳定性。而直尺反转误差分离技术则有助于消除由于直尺自身长度测量不准确或热膨胀等因素引起的误差，进一步提升了测量结果的准确性。 该装置的设计与制造涉及精密机械工程和光学技术的结合，包括精密加工、激光干涉仪的构建以及数据分析算法的开发。文章详细介绍了研发团队——来自上海交通大学电子信息学院仪器系和哈尔滨工业大学自动化测试及控制系的合作，共同推进了这一领域的前沿研究。 文章的关键词包括直线度测量、双频激光、直尺反转等，这些词汇突出了论文的核心内容和研究重点。在分类号方面，文章被归类于特定的科学和技术领域，如光学测量和仪器工程。此外，文献标识码为0，表明这是一篇原创性研究论文，符合学术期刊的发表要求。 这篇文章为我们揭示了一种高精度直线度测量的新解决方案，对提高测量技术的精度、推动航天领域的质量控制以及科研仪器的发展具有重要的实践价值和理论意义。