532nm激光在不锈钢表面刻蚀微光栅结构的优化方法

本文主要探讨了在镜面不锈钢表面利用纳秒激光直接刻蚀微光栅结构（Micro-Grating Structures, MGS）的技术研究。研究人员采用了波长为532纳米的激光二极管抽运的全固态激光器（DPSSL）作为光源，通过双光束干涉方法来精细控制刻蚀过程。实验中，他们详细研究了激光功率、光束直径以及双光束干涉角对微光栅的参数，如光栅槽深度和占宽比的影响。 实验结果显示，在激光功率为45毫瓦的情况下，当双光束干涉角设定为20度时，能够获得最佳的微光栅结构，其光栅周期为1.34微米，槽深达到了300纳米。这一精度的刻蚀得益于高精度的激光控制技术，能够在金属表面实现如此精细的结构。随着激光功率的适当增加，以及光栅周期和光束直径的增大，光栅槽的深度也随之提高，这表明了这些参数对于刻蚀深度具有显著影响。 作者还利用了光学显微镜和原子力显微镜（AFM）对实验结果进行了详尽的检测和分析，这两种精密的微观观察工具帮助研究人员确保了刻蚀的精度和质量。他们的研究对于理解纳秒激光在微尺度材料加工中的应用潜力以及优化微光栅结构的制备工艺具有重要意义。 该研究的关键词包括激光技术、纳秒激光、微光栅结构、刻蚀和镜面不锈钢，这些关键词揭示了文章的核心内容和研究领域。整体来看，这项工作对于激光加工技术的发展，尤其是在精密制造和光子学领域的应用，提供了有价值的数据和理论支持。